ВУЗ:
Составители:
53
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ ......................................................................................................... 3
1. ОСНОВНЫЕ СВОЙСТВА ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ............................ 4
1.1. Электрическое поле. Напряженность поля............................................ 4
1.2. Потенциал поля......................................................................................... 6
1.3. Электрическая емкость............................................................................. 9
1.4. Энергия электрического поля и силы, действующие
на проводники
........................................................................................ 10
2. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ МСТ В СИЛОВОМ ПОЛЕ... 13
2.1. Закон Гука................................................................................................ 13
2.2. Момент инерции сечения....................................................................... 16
2.3. Жесткость микромеханических элементов при изгибе ...................... 19
2.4. Жесткость микромеханических элементов при сдвиге (кручении) .. 23
2.5. Демпфирование колебаний микромеханических элементов ............. 23
3. АКТЮАТОРНЫЕ КОМПОНЕНТЫ МСТ.................................................. 25
3.1. Интегральные микромеханические реле.............................................. 25
3.2. Оптические компоненты МСТ с электростатической активацией.... 27
3.2.1. Микрозеркала с электростатическими актюаторами.................... 27
3.2.2. Микрозеркала с гребенчатыми электростатическими
актюаторами
...................................................................................... 31
3.3. Планарные электростатические микродвигатели ............................... 36
3.4. Планарные микродвигатели на основе тонких
сегнетоэлектрических пленок
............................................................... 38
3.5. Электрический микронасос ................................................................... 43
4. ЕМКОСТНЫЕ ДАТЧИКИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ........................................... 46
ЗАКЛЮЧЕНИЕ................................................................................................. 52
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК.............................................................. 52
