ВУЗ:
Составители:
52
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В учебном пособии рассмотрены наиболее широко используемые конст-
рукции актюаторных компонентов и емкостных датчиков перемещения микро-
системной техники, основные вопросы электрического поля и механики, лежа-
щие в основе их функционирования.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1.
Тамм И.Е. Основы теории электричества.– М.: Наука, 1966.– 624 с.
2.
Иоссель Ю.А. и др. Расчет электрической емкости. – Л: Энерго, 1981.–
288 с.
3.
Александров А.В., Потяпов В.Д., Державин Б.П. Сопротивление материа-
лов: Учебник для вузов.– М.: Высшая школа, 1995.– 560 с.
4.
Кухлинг Х. Справочник по физике / Пер. с нем.– М.: Мир, 1982.– 520 с.
5.
M.A.Michalicek. Introduction to micromechanical systems. URL:
http://mems.colorado.edu.
6.
Распопов В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие.– Тул. гос.
университет.– Тула. 2002.–392 с.
7.
Technical paper “Microengineering Space Systems” for The First Canadian
Workshop on “MEMS Technology for Aerospace Applications”. 2001.– P.49.
8.
Majumder S., McGruer N.E., Adms G.G., Zavracky P.M., Morrison R.H.,
Krim J. Study of contacts in an electrostatically actuated microswitch // Sen-
sors and Actuators.– 2001.– №A93.– P.19-26.
9.
Fujita H., Toshiyoshi H. Optical MEMS // IEICE Trans. Electron.– 2000.– vol.
E83-C, №9.– P.1427-1434.
10.
Jung K., Lee J., Choi B. Numerical analyses of the micromirror for projection
TV using FEM // Microsystem Technologies. 2001. №7.– P.75-79.
11.
Коноплев Б.Г., Лысенко И.Е. Моделирование микрозеркала с электроста-
тической активацией // Микросистемная техника. 2002. №12.– С.22-25.
12.
Conant R.A. Micromachined mirrors. Ph.D.-thesis.– Berkeley. 2002.– 193 p.
13.
Lecture Notes by professor Kasper D.I. URL: http://www.tu-harburg.de.
14.
Дятлов В.Л., Косцов Э.Г. Высокоэнергоемкие микродвигатели на основе
тонких сегнетоэлектрических пленок // Микросистемная техника. 1999.
№1.– С.22-31.
15.
Яворский Б.М. и др. Курс физики. Электричество и магнетизм.– М.:
Высшая школа, 1964.– 432 с.
16.
Артемьев В.М. и др. Пути совершенствования емкостных датчиков дав-
ления и ускорения // Приборы и системы управления, №9. 1989.– С.7-8.
