101 вопрос о нанотехнологиях. Нагорнов Ю.С. - 47 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 31. Схема работы просвечивающего электронного микроскопа.

Источник излучения, т.е. источник электронов в таких микроскопах представляет

собой электронную пушку, в которой источником электронов является чаще всего

нагретая вольфрамовая нить. Далее испускаемые электроны проходят через электронную

линзу-конденсор, регулирующую интенсивность потока излучения и освещаемую

площадь поверхности исследуемого образца, а затем через линзу-объектив проецируются

на люминесцентный экран, позволяющий преобразовать «электронную тень» в обычное

изображение, которое можно сфотографировать или же наблюдать непосредственно.

Просвечивающий электронный микроскоп имеет несколько принципиальных

особенностей: поскольку электронный поток сильно поглощается веществом, то внутри

установки должен быть создан глубокий вакуум, по этой же причине исследуемый

образец должен быть очень тонким (порядка 100 нм), и его изготовление является

сложной исследовательской задачей.

Вопрос 46. Что такое растровый электронный микроскоп?

От проблем с пробоподготовкой освобожден так называемый растровый или

сканирующий электронный микроскоп, схема которого изображена на рисунке 32. Его

конструкция имеет много общего с конструкцией просвечивающего электронного

микроскопа, принципиальное отличие заключается в том, что на электронный пучок

освещает не всю поверхность исследуемого предмета, а фокусируется в определённой его

точке, которая при помощи отклоняющей системы перемещается по поверхности,

сканируя её. На этом же принципе основано, например, построение изображения на

экране телевизора (растра). Электроны, отражённые от поверхности в фиксируются

детектором, что даёт возможность получать информацию о её структуре.