101 вопрос о нанотехнологиях. Нагорнов Ю.С. - 48 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Поскольку в данном случае электроны, участвующие в построении изображения не

проходят через исследуемый образец, то нет ограничений на толщину образца, и его

подготовка существенно упрощается, кроме того, нет необходимости поддерживать

внутри установки глубокий вакуум, что упрощает конструкцию микроскопа. Хотя схема

растрового электронного микроскопа была предложена Кноллем в 1935 году, а первая

реальная установка была создана М. фон Арденне в 1936 году, развитие по различным

техническим причинам она получила лишь в шестидесятых годах двадцатого века.

Рис.32 Схема работы растрового электронного микроскопа. 1 – источник электронов; 2 –

ускоряющая система; 3 – магнитная линза; 4 – отклоняющие катушки; 5 – образец; 6 –

детектор отраженных электронов; 7 – кольцевой детектор; 8 – анализатор

(http://www.krugosvet.ru)

Рис. 33. Микрофотография наночастиц CeO

, полученая при помощи электронного

микроскопа Titan с максимальным разрешением 0.05 нм (иллюстрация компании

производителя электронных микроскопов FEI Company http://www.fei.com).