ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
29
помощи системы обратной связи (рис. 1.16 (Б)). Таким образом,
вертикальные смещения сканера отражают рельеф поверхности
исследуемого образца. Основным достоинством метода постоянной силы
является возможность наряду с измерениями рельефа поверхности
проводить измерения и других характеристик – сил трения, сопротивления
растекания и др. К числу недостатков метода постоянной силы относится
ограничение скорости сканирования временем отклика системы обратной
связи.
При сканировании относительно мягких образцов с развитой
поверхностью сила давления зонда на поверхность варьируется,
одновременно неравномерно прогибается и поверхность образца. В
результате полученный рельеф поверхности может быть искажен.
Возможное наличие существенных капиллярных сил, обусловленных
наличием слоя воды, также приводит к ухудшению разрешения.
Контактный метод рассогласования
Скорость сканирования в методе постоянной силы ограничена
постоянной времени системы обратной связи. Этот недостаток в
значительной степени может быть преодолен с использованием того факта,
что в процессе сканирования новое значение величины изгиба
кантилевера, т.е. сигнал рассогласования, устанавливается быстрее, чем
система обратной связи приведет величину изгиба к предустановленному
значению. Сигнал рассогласования системы обратной связи, возникающий
в процессе сканирования с использованием метода постоянной силы
содержит дополнительную информацию относительно рельефа
поверхности. Он может быть использован для более полного
воспроизведения рельефа.
Контактный метод рассогласования может рассматриваться как
промежуточный между методом постоянной силы и методом постоянной
высоты, если коэффициент усиления системы обратной связи (т.е.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 27
- 28
- 29
- 30
- 31
- …
- следующая ›
- последняя »
