Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 48 стр.

UptoLike

48
случае на электроосаждённый образец методом газоплазменного
напыления наносят тонкий слой проводящего материала (как правило,
золото) толщиной 1…20 нм. Для указанной пробоподготовки нами
использовалась установка SC7620 Mini Sputter Coater фирмы Polaron.
Толщина нанесённого на образец покрытия в процессе работы установки
определяется формулой
t
V
I
,
d
17
0
=
где Uнапряжение, приложенное к
газоразрядному промежутку в кВ; Iток через газоразрядный промежуток
в мА; tвремя напыления в сек; dтолщина покрытия в Å. Для типичных
значений U ~ 1 кВ и I ~ 20 мА скорость напыления составляет 3…3,5 Å/с.
Напыление тонкого слоя золота на электроосаждённый образец
существенно улучшает контраст электронномикроскопического
изображения. В качестве примера на рис.2.3 представлены
электронномикроскопические изображения морфологии габитуса
пентагонального микрокристалла меди до (рис. 2.3 а) и после (рис. 2.3 б)
нанесения покрытия. Из рисунка видно, что напыление покрытия
позволяет добиться большего разрешения и контраста мелких деталей
электронномикроскопического изображения.
а)
б)
Рис. 2.3. Электронномикроскопические изображения пентагональной микротрубки
меди, полученные до (а) и после (б) напыления золотой плёнки
Ранее в работе [10] в процессе анализа экспериментальных данных
по электроосаждению металлов была предложена модель, которая