Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 7 стр.

UptoLike

7
сканирующем туннельном микроскопе. Однако такой метод регистрации
изменения положения кантилевера оказался не самым удачным, и двумя
годами позже была предложена оптическая схема: луч лазера направляется
на внешнюю поверхность кантилевера, отражается и попадает на
фотодетектор. Такой метод регистрации отклонения кантилевера
реализован в большинстве современных атомно-силовых микроскопов.
Изначально атомно-силовой микроскоп фактически представлял
собой профилометр, только радиус закругления иглы был порядка
десятков ангстрем. Стремление улучшить латеральное разрешение привело
к развитию динамических методов. Пьезовибратором возбуждаются
колебания кантилевера с определённой частотой и фазой. При
приближении к поверхности на кантилевер начинают действовать силы,
изменяющие его частотные свойства. Таким образом, отслеживая частоту
и фазу колебаний кантилевера, можно сделать вывод об изменение силы,
действующей со стороны поверхности и, следственно, о рельефе.
Вслед за туннельным и атомно-силовым микроскопом в течение
короткого времени были созданы магнитно-силовой микроскоп (МСМ),
электросиловой микроскоп (ЭСМ), ближнепольный оптический микроскоп
(БОМ) и многие другие приборы, имеющие сходные принципы работы и
называемые сканирующими зондовыми микроскопами. В настоящее время
зондовая микроскопия - это бурно развивающаяся область техники и
прикладных научных исследований.