Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 31 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

31
Рис.2. Упрощенная схема монополя
3) напряжение на образцах – 0-200 В;
4) напряжение второго электрода иммерсионного объектива около
минус 600 В;
5) напряжение ускоряющего электрода ионно-электронного
преобразователя порядка минус 2,2 кВ;
6) максимальное напряжение питания ВЭУ минус 4 кВ;
7) предельный вакуум, при котором анализатор сохраняет
работоспособность 6,5·10
-3
Ра.
1.1.2. Ионные источники
См. раздел 1.2 лабораторной работы № 2 настоящих указаний.
1.1.3. Двухканальный монополь
Двухканальный монополь (рис. 2) предназначен для сепарации
вторичных ионов из исследуемого образца.
Монополь состоит из двух полеобразующих электродов. Угловой
электрод (поз. 1) представляет собой трубу квадратного сечения, в
которой коаксиально расположен цилиндрический электрод (поз.2),
Такая конструкция позволяет получить четыре идентичных квадранта
квадрупольного поля. В качестве рабочих используются два
диаметрально противоположных квадранта, что определяет расстояние
между электронно-оптическими осями каналов монополя.
Электрическое поле в монополе образуется при подаче на его электроды
переменного высокочастотного и постоянного напряжений. Ионы в
этом поле совершают колебания амплитуда которых зависит от
отношения массы к заряду и от параметров поля. Только одному