ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
32
Рис. 3. Упрощенная схема иммерсионного
объектива
значению отношения массы к заряду в поле будет соответствовать
стабильная траектория движения ионов, для которой амплитуда
колебаний не будет превышать размеры монополя, и ионы будут
проходить всю длину его без столкновения с электродами.
Все остальные ионы будут иметь нестабильные траектории и
останутся на электродах монополя.
1.1.4. Иммерсионный объектив
Иммерсионный объектив (рис. 3) предназначен для сбора,
ускорения и фокусировки в плоскости входной диафрагмы монополя
(поз. 6) вторичных ионов, выбитых из анализируемого образца (поз. 1)
первичным пучком. Конструктивно он выполнен из трех электродов, в
которых имеется по два отверстия, расположенные на электронно-
оптических осях прибора. К внешнему крайнему электроду (поз. 3)
прижимается исследуемый образец (поз. 2). На этот электрод подается
регулируемое напряжение 0-200 В, на второй электрод (поз. 5) подается
напряжение до минус 700 В, на третий – до минус 500 В. Оптимальные
значения напряжений устанавливаются при настройке МС.
Ионно-электронный преобразователь с энергоанализатором
Ионно-электронный преобразователь с энергоанализатором (рис. 4)
расположен за монополем и предназначен для отсечения ионов с
энергий определенного уровня и преобразования ионного тока в
электронный ток для последующего усиления его с помощью ВЭУ.
Преобразователь состоит из одиночной электростатической линзы
(поз. 2), внешний электрод которой отражает ионы с энергией меньше
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 30
- 31
- 32
- 33
- 34
- …
- следующая ›
- последняя »
