Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 30 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

1. Устройство и работа составных частей масс-спектрометра

вторичных ионов МС-7201М

СВВ часть масс-спектрометра вторичных ионов МС-7201М,

функциональная схема которого представлена на рис.1, состоит из

сверхвысоковакуумной камеры, в которой расположены следующие

основные узлы:

1) два ионных источника (ИИ) (поз.1) с оптической системой

фокусировки первичного пучка (поз.2);

2) двухканальный иммерсионный объектив (поз. 3);

3) масс сепаратор – двухканальный монополь (стрелка "анализатор");

4) двухканального ионно-электронного преобразователя с энерго-

анализатором (стрелка ИЭП);

5) вторично-электронного умножителя типа ВЭУ-2 (стрелка ВЭУ);

6) держателя образцов со шлюзовой камерой (поз.4)

1.1. Технические характеристики основных узлов установки:

1) напряжение анодов ионных источников порядка 4 кВ;

2) напряжение на оптике ионных источников порядка 4 кВ;

Рис.1. Функциональная схема масс-спектрометра вторичных

ионов МС-7201М