Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 28 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

28
3. Порядок запуска ионного источника
1. К патрубкам на задней стенке вакуумной части подключены через
редукторы баллоны с рабочим газом (аргон). При закрытых вентилях
редукторов откройте клапан К10 и откачайте подводящие рабочий газ
трубки на форвакуум. Клапан К3 на время включения К10 должен
отключаться.
2. После откачки трубок закроете клапан К10 и откройте клапан КЗ и
клапан редуктора.
3. Включите в сеть блок управления системы напуска СНА-2,
предварительно ознакомившись с ее техническим описанием.
4. Напустите в источник рабочий газ до давления (0,7–1)·10
-4
Pa с
помощью системы напуска, подключенной к соответствующему
пьезовентилю.
5. "Промойте" источник рабочим газом в течение 5-10 мин.
6. Включите в сеть приборную стойку тумблером, расположенным в
еѐ нижней части.
7. Включите в сеть блок питания источника ионов СТВ-5-4 и ручкой
ТОК установите ток разряда источника по индикаторному прибору
блока 2-3 мA (вся шкала 5 мА ).
8. Нажмите на блоке кнопку ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ–ТОК,
напряжение должно быть 4 - 5 кВ (вся шкала 10 кВ).
9. Включите в сеть блок питания фокусирующей линзы источника
ионов СНВ-6-1. Плавно увеличивая напряжение фокусирующей линзы,
получите по прибору блока управления максимальный ток первичного
пучка ионов. При этом кнопка блока должна быть отжата. Вся шкала
прибора равна 100 μA.
10. Через 20-40 мин произведите повторную настройку на
максимальный первичный ток с помощью ручек ТОК блока питания
источника ионов, НАПУСК системы напуска и ВЫСОКОЕ
НАПРЯЖЕНИЕ–ТОК блока питания фокусирующей линзы.
11. Для надежной стабилизации тока разряда источника ионов ток
разряда на 0,6–0,7 мА.
4. Требования к отчету
Отчет должен содержать:
1) краткие сведение о физических основах получения и контроля
ионных пучков;
2) схему ионного источника установки МС-7201М;
3) экспериментальные данные по току пучка, плотности тока пучка,

Страницы