Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 26 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

1.3. Ионный источник масс-спектрометра вторичных ионов МС-

7201М.

В масс-спектрометре МС-7201М используется ионный источник с

разрядной ячейкой Пеннинга (рис.).

Основные технические данные источника ионов:

1) выходной ионный ток на образце 5–15 мкА;

2) ток разряда 2–4 мА;3) напряжение горения разряда 3–5 кВ;

4) рабочий газ – водород, аргон или гелий. В приборе применен ионный

источник с осцилляцией электронов в магнитном поле (ячейка

Пеннинга). Он состоит из разрядной камеры (на рис. РК), системы

электродов, включающей в себя пролетный кольцевой анод (поз. 6) и

два холодных катода (поз. 4, 8), магнитной системы (поз. 3),

фокусирующей линзы (2), вакуумных токовводов (1,3), устройства

натекания рабочего газа (7). Осевое магнитное поле заставляет

электроны двигаться по циклоидальным или спиральным траекториям с

одновременной осцилляцией их между катодами, что увеличивает

длину пути электронов и, следовательно, вероятность ионизации

рабочего газа. Ток разряда источника проходит через обмотку катушки

(размещенной между постоянными магнитами и разрядной камерой),

Рис.3. Схема источника ионов установки МХ–7201М (описание в тексте).

РК