Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 27 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

27
которая является управляющим элементом в цепи стабилизации тока
разряда. Магнитное поле катушки направлено навстречу основному
магнитному полю постоянных магнитов.
Высоковольтный разряд Пеннинга позволяет работать при давлении
в разрядной камере порядка 0,1 Pa, на один–два порядка ниже, чем в
источниках других типов, и, следовательно, иметь меньший расход газа
и меньшую производительность средств откачки. При высоковольтном
разряде отпадает необходимость в вытягивающих напряжениях. Ионы
приобретают энергию в большом катодном падении потенциала.
Поэтому корпус ионного источника находится под нулевым
потенциалом.
Конструкция ионного источника допускает высокотемпературный
прогрев для обезгаживания. Корпус его уплотняется через медную
прокладку с помощью канавочно-клинового уплотнения.
Разрядная камера ионного источника изготовлена из немагнитной
нержавеющей стали. Вывод анода осуществляется через обмотку
катушки на высоковольтный гермоввод (поз. 1).
Анодно-катодный узел ионного источника представляет собой
единый моноблок и допускает возможность быстрой смены катодов и
чистку электродов. Катоды изготавливаются из материала с большим
коэффициентом ионно-электронной эмиссии и мало подверженного
катодному распылению. Для работы на водороде и аргоне катоды изго-
тавливаются из алюминиево-магниевого сплава.
Магнитная система ионного источника состоит из плоских коль-
цевых магнитов из гексаферрита бария и катушки индуктивности.
Суммарная напряженность магнитного поля 40 А/м .
Ионный источник питается от источника питания, стабилизирован-
ного по току.
Газовое питание источника ионов осуществляется через натекатель
с пъеэовентилем. В источник ионов газ поступает через трубку напуска
(поз. 7).
На выходе ионных источников расположены трехэлектродные
линзовые блоки (поз. 2), позволяющие изменять степень фокусировки
первичного пучка на поверхности исследуемого образца.
2. Задания
1. Получить в установке сверхвысокий вакуум (порядок получения – см.
лаб.№1).
2. Получить ионный пучок (порядок получения – см. ниже) с энергией
ионов 4,5 кэВ.
3. Измерить ток ионного пучка.
4. Рассчитать плотность тока ионного пучка.

Страницы