Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 25 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

25
Рис. 2. Схема источника ионов с ионизацией
полем и электронным ударом:
1– токовводы; 2 – трубка для напуска газа;
3 – керамическая шайба; 4 – эмиттер; 5 – катод;
6 – ионизационная камера; 7 – вытягивающий
электрод; 8 – фокусирующий электрод;
9, 10 – корректирующие пластины; 11 – кол-
лимирующие пластины; 12 – отражающий
электрод; 13 – коллектор электронов.
импульс высокого напряжения. Образующиеся электроны многократно
пронизывают анод и осциллируют между катодами, испаряя и
ионизируя вещество анода. Нейтрализуя объѐмный заряд ионов, можно
получить ионные потоки с высокой плотностью и общим током порядка
сотен кА. Иногда роль одного из катодов играет т. н. виртуальный
катод.
1.2. Источники ионов с ионизацией полем и электронным ударом
Часто применяют источники, в которых совмещают ионизацию
полем и электронным ударом. Схема такого источника показана на
рис.2. Газ поступает в источник по трубке напуска. Крепление
токовводов эмиттера и ионизационной камеры осуществлено на ке-
рамической шайбе. В режиме ионизации электрон-ным ударом
включается накал катода, и
электроны ускоряются в
ионизационную камеру за
счет разности потенциалов
между катодом и камерой.
Ионы вытягиваются из
ионизационной камеры с
помощью вытягивающего
электрода. Для фокусиров-
ки пучка ионов использует-
ся фокусирующий элект-
род. Коллимация пучка
осуществляяется коллими-
рующими электродами, а
его корректировка в
горизонтальном и верти-
кальном направлениях –
корректирующими элект-
родами. Ускоряющий потенциал подается на ионизационную камеру.
При ионизации высоковольтным полем ускоряющий потенциал
подается на эмиттер. В источнике могут быть использованы три типа
эмиттеров: острие, гребенка, нить. Для примера приведем конкретные
величины напряжений, применяемых в работающей ИП. При работе с
нитью типовые потенциалы на электродах равняются: эмиттер – +4 кВ;
ионизационная камера – -6–10 кВ; вытягивающий электрод от -2.8 до
+3.8 кВ; корректирующие пластины от –200 до +200 В и от –600 до +
600 В; щелевые диафрагмы 0 В.

Страницы