ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
34
3. Падающий электрон отражается от приповерхностных атомных
слоев материала мишени практически без потерь энергии (кривая 3) -
происходит упругое отражение электрона.
При полном торможении падающего электрона в мишени (кривая 1)
и при неупругом отражении (кривая 2) в области траектории движения
первичного электрона возникают возбужденные электроны - электроны
вещества мишени, получившие некоторую дополнительную энергию в
результате
столкновения с первичным электроном.
Возбужденные электроны движутся из области образования во все
стороны, в том числе к поверхности мишени. Как и первичные электро-
ны, возбужденные электроны при движении теряют свою энергию в
столкновениях с электронами вещества. Из мишени выходят только те
возбужденные электроны, энергия которых у поверхности превышает
работу выхода
материала мишени. Электроны, покидающие поверх-
ность твердого тела в результате такого процесса, называются истинно
вторичными электронами.
Таким образом, в потоке электронов, идущих от мишени, можно вы-
делить электроны трех групп: истинно вторичные электроны, неупруго
отраженные электроны и упруго отраженные электроны.
В соответствии с этим полный коэффициент вторичной электронной
эмиссии может быть
представлен в виде
r++=
η
δ
σ
где
12
JJ
B
=
δ
- коэффициент истинной вторичной электронной
эмиссии;
12
JJ
HO
=
η
- коэффициент неупругого отражения первичных
электронов;
12
JJr
YO
= - коэффициент упругого отражения первичных
электронов.
В приведенной записи
YOHOB
JJJ
222
,, - соответственно токи, обуслов-
ленные истинно вторичными электронами, неупруго отраженными
электронами и упруго отраженными электронами.
3. Падающий электрон отражается от приповерхностных атомных слоев материала мишени практически без потерь энергии (кривая 3) - происходит упругое отражение электрона. При полном торможении падающего электрона в мишени (кривая 1) и при неупругом отражении (кривая 2) в области траектории движения первичного электрона возникают возбужденные электроны - электроны вещества мишени, получившие некоторую дополнительную энергию в результате столкновения с первичным электроном. Возбужденные электроны движутся из области образования во все стороны, в том числе к поверхности мишени. Как и первичные электро- ны, возбужденные электроны при движении теряют свою энергию в столкновениях с электронами вещества. Из мишени выходят только те возбужденные электроны, энергия которых у поверхности превышает работу выхода материала мишени. Электроны, покидающие поверх- ность твердого тела в результате такого процесса, называются истинно вторичными электронами. Таким образом, в потоке электронов, идущих от мишени, можно вы- делить электроны трех групп: истинно вторичные электроны, неупруго отраженные электроны и упруго отраженные электроны. В соответствии с этим полный коэффициент вторичной электронной эмиссии может быть представлен в виде σ =δ +η + r где δ = J 2B J 1 - коэффициент истинной вторичной электронной эмиссии; η = J 2HO J 1 - коэффициент неупругого отражения первичных электронов; r = J 2YO J 1 - коэффициент упругого отражения первичных электронов. В приведенной записи J 2B , J 2HO , J 2YO - соответственно токи, обуслов- ленные истинно вторичными электронами, неупруго отраженными электронами и упруго отраженными электронами. 34
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 32
- 33
- 34
- 35
- 36
- …
- следующая ›
- последняя »