ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
35
Разделение вторичных электронов на три указанные группы произ-
водится на основании анализа их распределения по энергиям. На рис. 9
изображен
дифференциальный энергетический спектр вторичных элек-
тронов, т.е. зависимость числа вторичных электронов с данной энергией
от величины энергии вторичных электронов Е
2
.
Рис. 9. Дифференциальный энергетический спектр вторич-
ных электронов: I - истинно вторичные электроны;
II - неупруго отраженные электроны;
III - упруго отраженные первичные электроны
Наибольшее число в потоке вторичных электронов обычно состав-
ляют истинно вторичные электроны, которым соответствует пик в об-
ласти малых энергий энергетического спектра (область I); неупруго от-
раженным электронам соответствует область II энергетического спек-
тра; и, наконец, узкий пик в правой части спектра, соответствующий
энергии первичных электронов Е
р
, обусловлен упругим отражением
первичных электронов (область III). Следует отметить, что физической
границы между областями I и II энергетического спектра не существует,
поскольку невозможно разделить истинно вторичные электроны, поки-
дающие поверхность с достаточно высокими энергиями, и неупруго
отраженные электроны с такими же энергиями. В качестве границы ме-
жду областями I и II условно принята энергия 50 эВ.
Максимум пика
истинно вторичных электронов соответствует энергиям 1-5 эВ.
Разделение вторичных электронов на три указанные группы произ- водится на основании анализа их распределения по энергиям. На рис. 9 изображен дифференциальный энергетический спектр вторичных элек- тронов, т.е. зависимость числа вторичных электронов с данной энергией от величины энергии вторичных электронов Е2. Рис. 9. Дифференциальный энергетический спектр вторич- ных электронов: I - истинно вторичные электроны; II - неупруго отраженные электроны; III - упруго отраженные первичные электроны Наибольшее число в потоке вторичных электронов обычно состав- ляют истинно вторичные электроны, которым соответствует пик в об- ласти малых энергий энергетического спектра (область I); неупруго от- раженным электронам соответствует область II энергетического спек- тра; и, наконец, узкий пик в правой части спектра, соответствующий энергии первичных электронов Ер, обусловлен упругим отражением первичных электронов (область III). Следует отметить, что физической границы между областями I и II энергетического спектра не существует, поскольку невозможно разделить истинно вторичные электроны, поки- дающие поверхность с достаточно высокими энергиями, и неупруго отраженные электроны с такими же энергиями. В качестве границы ме- жду областями I и II условно принята энергия 50 эВ. Максимум пика истинно вторичных электронов соответствует энергиям 1-5 эВ. 35
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 33
- 34
- 35
- 36
- 37
- …
- следующая ›
- последняя »