ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
37
)exp()(
0 s
zBzf
λ
−= ,
где
В
0
– вероятность выхода электронов в вакуум с поверхности
(z=
0);
s
λ
– эффективная глубина выхода возбужденных электронов,
составляющая ~0,5-3 нм.
С учетом выражения для
)(zf
можно записать
dzzEzGBE
spp
)exp(),()(
0
0
λδ
−
∫
=
∞
.
Из приведенного выше качественного анализа видно, что с увеличе-
нием энергии первичных электронов от малых значений коэффициент
истинной вторичной эмиссии
δ
сначала должен расти за счет увеличе-
ния общего числа электронов, возбуждаемых в материале мишени. Но
по мере роста E
p
увеличивается глубина зарождения основной массы
возбужденных электронов, а следовательно, уменьшается вероятность
их выхода в вакуум в соответствии с зависимостью
)exp(
s
z
λ
− . Поэтому
при некотором значении энергии первичных электронов коэффициент
истинной вторичной эмиссии должен достигать максимальной величи-
ны, а затем он должен уменьшаться за счет уменьшения вероятности
выхода возбужденных электронов с больших глубин.
Такая зависимость
δ
от E
p
действительно наблюдается (рис. 10).
Максимальное значение коэффициента истинной вторичной эмиссии
m
δ
достигается при энергии первичных электронов Е
pm
. Если величи-
на 1>
m
δ
, как на рис. 10, то можно указать еще две характерные энергии
первичных электронов Е
p1
и Е
p2
, при которых 1=
m
δ
.
Рис. 10. Зависимость коэффи-
циента истинной вторичной
эмиссии от энергии первичных
электронов
f ( z ) = B0 exp(− z λs ) , где В0 – вероятность выхода электронов в вакуум с поверхности (z=0); λs – эффективная глубина выхода возбужденных электронов, составляющая ~0,5-3 нм. С учетом выражения для f (z ) можно записать ∞ δ ( E p ) = B0 ∫ G ( z ,E p ) exp(− z λs )dz . 0 Из приведенного выше качественного анализа видно, что с увеличе- нием энергии первичных электронов от малых значений коэффициент истинной вторичной эмиссии δ сначала должен расти за счет увеличе- ния общего числа электронов, возбуждаемых в материале мишени. Но по мере роста Ep увеличивается глубина зарождения основной массы возбужденных электронов, а следовательно, уменьшается вероятность их выхода в вакуум в соответствии с зависимостью exp(− z λs ) . Поэтому при некотором значении энергии первичных электронов коэффициент истинной вторичной эмиссии должен достигать максимальной величи- ны, а затем он должен уменьшаться за счет уменьшения вероятности выхода возбужденных электронов с больших глубин. Такая зависимость δ от Ep действительно наблюдается (рис. 10). Максимальное значение коэффициента истинной вторичной эмиссии δ m достигается при энергии первичных электронов Еpm. Если величи- на δ m > 1 , как на рис. 10, то можно указать еще две характерные энергии первичных электронов Еp1 и Еp2, при которых δ m = 1 . Рис. 10. Зависимость коэффи- циента истинной вторичной эмиссии от энергии первичных электронов 37
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 35
- 36
- 37
- 38
- 39
- …
- следующая ›
- последняя »