ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
36
Зависимость коэффициентов
r,,
η
δ
от энергии
и угла падения первичных электронов
Зависимость коэффициента истинной вторичной электронной эмис-
сии
δ
от энергии первичных электронов Е
p
может быть представлена в
виде
dzzfEzGE
pp
)(),()(
0
∫
=
∞
δ
,
где
),(
p
EzG
- плотность возбуждения вторичных электронов в веще-
стве, она равна среднему числу возбужденных электронов, образован-
ных одним первичным электроном с энергией
Е
p
в слое толщиной dz на
глубине
z; f(z) - вероятность выхода из мишени возбужденного электро-
на, образованного на глубине
z.
Очевидно, что количество истинно вторичных электронов, поки-
дающих мишень, должно зависеть от общего числа электронов, возбуж-
даемых в мишени первичным электроном, от распределения возбуж-
денных электронов по глубине и от вероятности выхода возбужденных
электронов из каждого слоя мишени
dz в вакуум.
Средняя энергия возбужденных электронов слабо зависит от энергии
первичных электронов
E
p
, поэтому можно считать, что среднее число
возбужденных электронов, приходящееся на один первичный электрон,
приблизительно пропорционально
E
p
.
Глубина возбуждения вторичных электронов в мишени определяется
закономерностями торможения первичного электрона в веществе:
большую часть своей исходной энергии первичный электрон теряет в
конце пути. Поэтому можно предположить, что
функция
),(
p
EzG имеет максимум при некотором значении z
m
, близком
к
eff
L
, причем глубина z
m
, на которой образуется большая часть возбуж-
денных электронов, увеличивается с ростом энергии первичных элек-
тронов
E
p
.
Вероятность выхода возбужденного электрона в вакуум с глубины
z
может быть представлена экспоненциальной зависимостью
Зависимость коэффициентов δ ,η , r от энергии и угла падения первичных электронов Зависимость коэффициента истинной вторичной электронной эмис- сии δ от энергии первичных электронов Еp может быть представлена в виде ∞ δ ( E p ) = ∫ G ( z ,E p ) f ( z )dz , 0 где G ( z , E p ) - плотность возбуждения вторичных электронов в веще- стве, она равна среднему числу возбужденных электронов, образован- ных одним первичным электроном с энергией Еp в слое толщиной dz на глубине z; f(z) - вероятность выхода из мишени возбужденного электро- на, образованного на глубине z. Очевидно, что количество истинно вторичных электронов, поки- дающих мишень, должно зависеть от общего числа электронов, возбуж- даемых в мишени первичным электроном, от распределения возбуж- денных электронов по глубине и от вероятности выхода возбужденных электронов из каждого слоя мишени dz в вакуум. Средняя энергия возбужденных электронов слабо зависит от энергии первичных электронов Ep, поэтому можно считать, что среднее число возбужденных электронов, приходящееся на один первичный электрон, приблизительно пропорционально Ep. Глубина возбуждения вторичных электронов в мишени определяется закономерностями торможения первичного электрона в веществе: большую часть своей исходной энергии первичный электрон теряет в конце пути. Поэтому можно предположить, что функция G ( z , E p ) имеет максимум при некотором значении zm, близком к Leff , причем глубина zm, на которой образуется большая часть возбуж- денных электронов, увеличивается с ростом энергии первичных элек- тронов Ep. Вероятность выхода возбужденного электрона в вакуум с глубины z может быть представлена экспоненциальной зависимостью 36
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 34
- 35
- 36
- 37
- 38
- …
- следующая ›
- последняя »