ВУЗ:
Составители:
124
Tk
GEE
MRT
PN
arN
B
sdes
A
2
exp
2
sin2
21
0
(5.75)
Скорость зародышеобразования сильно зависит от энергии
зародышеобразования, что заложено в значениях G*. Читателю
предлагается исследовать сильную зависимость
N
от
коэффициента перенасыщения пара. Как отмечалось ранее высокая
вероятность зародышеобразования стимулирует формирование
мелкозернистой и даже аморфной структуры тогда как
крупнозернистая структура покрытия формируется при низком
значении величины
N
.
5.14 Атомистические модели зародышеобразования
Атомные теории зародышеобразования описывают роль
индивидуальных атомов и их небольших ассоциаций на ранних
стадиях образования пленки. Важным достижением
атомистического подхода к зародышеобразованию была теория,
предложенная Волтоном и др [31], которая рассматривала кластеры
как макромолекулы и использовала концепции статистической
механики для их описания. Они ввели критическую энергию
диссоциации Е
i
, которую определили как энергию, которая
требуется для разделения критического кластера, содержащего i
атомов на i отдельных адатомов. Критическая концентрация
кластеров на единицу поверхности размером i, N
i
, дается тогда
уравнением
TkEnNnN
Bi
i
i
exp
010
, (5.76)
которое выражает условие химического равновесия между
кластерами и мономерами. В этом уравнении,
i
E
может
рассматриваться как отрицательная энергия образования кластеров,
n
0
– полная плотность центров адсорбции и N
1
– плотность
мономеров. Последнее по аналогии с (5.63), дается выражением
s
RN
1
. Таким образом
Tk
E
RN
B
des
exp
1
1
. (5.77)
Наконец, критическое значение нормы подачи мономеров
существенно определяется скоростью соударений из пара о
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 122
- 123
- 124
- 125
- 126
- …
- следующая ›
- последняя »
