Материаловедение поверхности и тонких пленок. Пичугин В.Ф. - 123 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

123
области зародышеобразования n
s
будет оккупирована адатомами.
Поверхностная плотность этих адатомов n
a
, задается произведением
скорости бомбардировки пара и временем жизни адатомов
MRT
PN
n
As
a
2
. (5.69)
Окружение куполообразных зародышей на рис.5.16 – адатомы,
уравновешенные связью с кольцевой областью площадь которой
sin2
0
arA
. (5.70)
Величины r*, a
0
, и были определены ранее.
Наконец, темп соударений на площадь A* требует
диффузионных прыжков адатомов по поверхности подложки с
частотой
TkE
Bs
exp
, где E
s
– энергия активации
поверхностной диффузии. Полный поток соударяющихся атомов
определяется как произведение частоты прыжков и n
a
или
MRT
TkEPN
BsAs
2
exp
(см
-2
с
-1
). (5.71)
Не существует недостатка в адатомах, которые могут
диффундировать и захватываться существующими зародышами. В
течение времени существования, адатомы способны
продиффундировать на среднее расстояние X от исходной позиции,
21
2
ss
DX
. (5.72)
Коэффициент поверхностной диффузии, D
s
, определяется
TkEaD
Bss
exp
2
1
2
0
(см
-2
с
-1
) . (5.73)
И тогда,
Tk
EE
aX
B
sdes
2
exp
0
. (5.74)
Большая величина Е
des
в комбинации с маленькой величиной
E
s
служат для расширения возможных значений радиуса
зародыша. Подставляя уравнения 5.53, 5.69, 5.70 и 5.71 в 5.68,
получим

Страницы