ВУЗ:
Составители:
128
2
1
2
11
11
i
ii
s
NKNNK
N
R
dt
dN
(5.82)
Уравнение утверждает, что скорость изменения плотности мономеров
определяется и начальным расходом минус скорость их десорбции,
минус скорость при которой два мономера взаимодействуют, чтобы
образовать димер. Этот последний член следует кинетике второго
порядка с постоянной K
1
. Он представляет потерю в количестве
мономеров из-за их захвата большими кластерами, содержащими два и
более атома. Имеются подобные уравнения, описывающие
распределение димеров, тримеров и иных кластеров,
взаимодействующих с мономерами. Общая форма кинетического
уравнения для кластеров, размером i
iiii
i
NNKNNK
dt
dN
1111
, (5.83)
где первый член справа определяет рост кластеров в результате
присоединения мономеров
к наиболее к маленьким,
размером i - 1, а второй член
определяет их уменьшение,
когда они взаимодействуют
с мономерами и образуют
большие, размером i + 1
кластеры. Имеется i из этих
связанных уравнений,
каждое из которых зависит
напрямую от столкновений
из пара также как от
десорбции, что показано в
уравнении (5.77).
Включение диффузионного
члена, т.е.,
22
dxNd
i
,
делает возможным
изменение формы кластера. Когда учитываются подвижность кластера и
коалесценция, красиво вытекает полная последовательность событий
зародышеобразования, однако это приводит к значительному
усложнению задачи.
Решение для переходного, также как и установившегося
состояние (т.е., где
0dtdN
i
) было получено для вышеупомянутых
уравнений для различных физических ситуаций и для случайных
величин i. Типично они предсказывают увеличение N(t) со временем и
последующее насыщение до величины N
s
. На практике постоянная
плотность зародышей увеличивается линейно со временем осаждения,
затем насыщается при значении (10
9
– 10
12
) см
-2
в зависимости от
Рис. 5.21 Схематическая зависимость
N(t) от времени при различных
температурах подложки.
T
1
> T
2
> T
3
> T
4
[31].
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 126
- 127
- 128
- 129
- 130
- …
- следующая ›
- последняя »
