Материаловедение поверхности и тонких пленок. Пичугин В.Ф. - 55 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

3.3 Поверхностные дефекты

Межзеренные границы. Большинство кристаллических

материалов являются поликристаллами. Многие свойства

поликристаллов определяются не столько свойствами отдельных

зерен, сколько свойствами границ между зернами. В

полупроводниковой технике используют в большинстве случаев

монокристаллы, потому что свойства границ между зернами чаще

всего невоспроизводимы и сильно отличаются от свойств отдельных

зерен.

Граница зерна представляет собой переходную область между

двумя соседними зернами, имеющими различную ориентацию в

пространстве. Для полного определения характера и ориентации

границы зерна требуется пять параметров. Три из них задают

ориентацию второго зерна относительно системы координат,

связанной с первым кристаллом, а два определяют ориентацию

плоскости границы в этой системе.

Рассмотрим два простых кубических кристалла, которые имеют

общую ось [001]. Различные ориентации этих зерен определяются их

относительным поворотом на угол  вокруг общей оси (рис. 3.2).

Поверхность границы между зернами является плоскостью

симметрии. Такая граница называется простой или наклонной. При

Рис. 3.2. Схема дислокационной структуры границы между

кристаллами