ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
3
Описание прибора
Рис . 1.
Прибор состоит из вакуумной (1) и электрической (2) стоек (см. рис.
1). В вакуумной стойке размещены вакуумная система , система напуска ,
распределительный щиток и электропитание для термического испарения.
На стойке 1 в верхней части установлен столик 5 для вакуумного
препарирования (рабочий объем). Справа и слева от столика расположены
наклонные и горизонтальные пульты управления (3,4,6,7). Внутри
электрической стойки 2 расположены высоковольтный выпрямитель,
питающий устройство для ионного травления, блок питания нагревателя и
охладителя.
Рис. 2
3
Опи са ни е пр и б о р а
Р ис. 1.
П р и б о р со сто и ти з ва куумно й (1) и эле ктр и че ско й (2) сто е к (см. р и с.
1). В ва куумно й сто йке р а зме щ е ны ва куумна я си сте ма , си сте ма на пуска ,
р а спр е де ли те льный щ и то к и эле ктр о пи та ни е для те р ми че ско го и спа р е ни я.
На сто йке 1 в ве р х не й ча сти уста но вле н сто ли к 5 для ва куумно го
пр е па р и р о ва ни я (р а б о чи й о б ъе м). Спр а ва и сле ва о тсто ли ка р а спо ло ж е ны
на кло нные и го р и зо нта льные пульты упр а вле ни я (3,4,6,7). В нутр и
эле ктр и че ско й сто йки 2 р а спо ло ж е ны высо ко во льтный выпр ями те ль,
пи та ю щ и й устр о йство для и о нно го тр а вле ни я, б ло к пи та ни я на гр е ва те ля и
о х ла ди те ля.
Р ис. 2
