Методические указания к лабораторному практикуму для студентов специализации "Физика металлов". Попова И.А - 5 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

5
На рис. 3а и 3б цифрами обозначены
1 – основание столика ,
2, 3 – держатели испарителя,
4 – датчик индикатора напыления,
5 – стойка на основании столика ,
6 – охладитель,
7 – основание охладителя,
8 – шторка ,
9 – столик,
10 – устройство для поворота и наклона столика объектов,
11 – кожух , защищающий колпак,
12 – колпак,
13 – токоведущие стойки ,
14 –винт для напуска воздуха в рабочий объем,
15 – конусное гнездо ,
16 – клапан, отсекающий рабочий объем от вакуумной системы,
17 – изолированный ввод, соединяющий высоковольтный выпрямитель с
устройством для ионного травления,
18 - изолированный ввод, соединяющий нагреватель и охладитель с
блоком питания. Через ввод 18 нагреватель и охладитель соединяются с
блоком питания, через ввод 17 высоковольтный выпрямитель с
устройством для ионного травления. Винт 14 служит для напуска воздуха
в рабочий объем. Клапан 16 отсекает рабочий объем от вакуумной
системы. Охладитель 6 с основанием 7 служит для установки столика
охлаждения объектов.
Стойки 13 устанавливаются на изолированных вводах, соединяющих
их с трансформатором накала испарителей.
Конусное гнездо 15 служит для установки нагревателя или устройства для
ионного травления.
В целях обеспечения безопасности оператора колпак 12 защищен
кожухом 11.
Задание 1. Приготовить пленку исследуемого металла методом
термического распыления с контролем толщины осаждаемого слоя.
Цель работы: получение тонкопленочных образцов для электронно -
микроскопических и электронно -графических исследований металлов с
помощью блока автоматического контроля толщины напыляемого слоя.
Подготовка вакуумного поста ВУП – 4 к выполнению работы :
1) Установить контрольное стекло на датчике индикатора напыления
2) Установить датчик на стойку, подключить сигнальный разъем
датчика к разъему Ш 17А
3) Кнопка НАПЫЛЕНИЕ должна быть выключена, а ручка УРОВЕНЬ
– в левом крайнем положении.
Порядок включения прибора:
1) нажмите кнопку СЕТЬ. При этом должна загореться сигнальная
лампочка , находящаяся рядом с кнопкой; 2) проверьте положение 
                                             5
На р и с. 3а и 3б ци фр а ми о б о зна че ны
1 – о сно ва ни е сто ли ка ,
2, 3 – де р ж а те ли и спа р и те ля,
4 – да тчи к и нди ка то р а на пыле ни я,
5 – сто йка на о сно ва ни и сто ли ка ,
6 – о х ла ди те ль,
7 – о сно ва ни е о х ла ди те ля,
8 – ш то р ка ,
9 – сто ли к,
10 – устр о йство для по во р о та и на кло на сто ли ка о б ъе кто в,
11 – ко ж ух , за щ и щ а ю щ и й ко лпа к,
12 – ко лпа к,
13 – то ко ве дущ и е сто йки ,
14 – ви нтдля на пуска во здух а в р а б о чи й о б ъе м,
15 – ко нусно е гне здо ,
16 – кла па н, о тсе ка ю щ и й р а б о чи й о б ъе м о тва куумно й си сте мы,
17 – и зо ли р о ва нный вво д, со е ди няю щ и й высо ко во льтный выпр ями те льс
устр о йство м для и о нно го тр а вле ни я,
18 - и зо ли р о ва нный вво д, со е ди няю щ и й на гр е ва те ль и о х ла ди те ль с
б ло ко м пи та ни я. Че р е з вво д 18 на гр е ва те ль и о х ла ди те ль со е ди няю тся с
б ло ко м пи та ни я, че р е з вво д 17 высо ко во льтный выпр ями те ль с
устр о йство м для и о нно го тр а вле ни я. В и нт14 служ и тдля на пуска во здух а
в р а б о чи й о б ъе м. Кла па н 16 о тсе ка е т р а б о чи й о б ъе м о т ва куумно й
си сте мы. Ох ла ди те ль 6 с о сно ва ни е м 7 служ и т для уста но вки сто ли ка
о х ла ж де ни я о б ъе кто в.
        Сто йки 13 уста на вли ва ю тся на и зо ли р о ва нных вво да х , со е ди няю щ и х
и х с тр а нсфо р ма то р о м на ка ла и спа р и те ле й.
Ко нусно е гне здо 15 служ и тдля уста но вки на гр е ва те ля и ли устр о йства для
и о нно го тр а вле ни я.
        В це лях о б е спе че ни я б е зо па сно сти о пе р а то р а ко лпа к 12 за щ и щ е н
ко ж ух о м 11.
      Зад ание 1. П р и го то ви ть пле нку и ссле дуе мо го ме та лла ме то до м
те р ми че ско го р а спыле ни я с ко нтр о ле м то лщ и ныо са ж да е мо го сло я.
      Це ль р а б о ты: по луче ни е то нко пле но чных о б р а зцо в для эле ктр о нно -
ми кр о ско пи че ски х и эле ктр о нно -гр а фи че ски х и ссле до ва ни й ме та лло в с
по мо щ ью б ло ка а вто ма ти че ско го ко нтр о ля то лщ и нына пыляе мо го сло я.
         П од готовк а вак уумного поста ВУ П – 4 к вы полнению раб оты :
      1) У ста но ви тько нтр о льно е сте кло на да тчи ке и нди ка то р а на пыле ни я
      2) У ста но ви ть да тчи к на сто йку, по дклю чи ть си гна льный р а зъе м
          да тчи ка к р а зъе му Ш 17А
      3) Кно пка НАП Ы ЛЕНИ Е до лж на б ытьвыклю че на , а р учка У РОВ ЕНЬ
          – в ле во м кр а йне м по ло ж е ни и .
                                П оряд ок вк лю чения приб ора:
      1) на ж ми те кно пку СЕТЬ. П р и это м до лж на за го р е ться си гна льна я
ла мпо чка , на х о дящ а яся р ядо м с кно пко й; 2) пр о ве р ьте по ло ж е ни е

Страницы