Методические указания к лабораторному практикуму для студентов специализации "Физика металлов". Попова И.А - 6 стр.

UptoLike

6
высоковакуумного клапана и клапана напуска воздуха. Они
должны быть в закрытом положении; 3) нажмите кнопку ФН, а через 2-3
минуты кнопку ДН и ВВ. При этом должны загореться соответствующие
сигнальные лампочки , находящиеся над кнопками. Откройте вентиль
подачи воды к дифнасосу; 4) через 30-40 мин нажмите кнопку ПВ и
откачайте рабочий объем до 5·10
-2
- 1·10
-2
мм рт.ст. Измерение давления
производите с помощью индикатора вакуума, расположенного на правом
пульте датчика ПМТ-4М , расположенного на патрубке ФН, для чего : а )
нажмите кнопку ПМТ-4М и установите ток накала согласно паспорту
датчика ; б ) нажмите кнопку ФВ. Определите вакуум согласно
градуировочной кривой датчика и показаний измерительного прибора;.5)
После достижения указанного вакуума нажмите кнопку ВВ и откройте
высоковакуумный клапан; 6) Замерьте высокий вакуум в рабочем объёме
для чего : а ) нажмите кнопку ПРОГР и выдержите в этом режиме 10-15
мин; б ) нажмите кнопку ЭМИСС и установите стрелку прибора на 5 мВ ; в)
нажмите кнопку НУЛЬ и установите нуль на измерительном приборе; г)
нажмите кнопку "10
-4
", если стрелка измерительного прибора показывает
менее 1 мВ данного диапазона, нажмите кнопку "10
-5
" и т.д. После
включения прибора необходимо произвести сборку устройства для
термического распыления согласно рис. 2 "Технического описания" и
продолжать работу на приборе в следующем порядке : 1) установить
испаритель с распыляемым материалом (по указанию преподавателя ) и
столик образцов; 2) откачать рабочий объём до высокого вакуума, 3)
установить переключатель испарителей на горизонтальном пульте в
положение , соответствующее испарителю , из которого будет распыляться
материал (на испарителях и переключателе имеются соответствующие
гравировки ); 4) Установить ручкой УСТ .0 стрелку измерительного
прибора на нулевое показание прибора, множитель шкалы при этом
должен быть в положении «Х 1»; 5) Пользуясь ручкой УРОВЕНЬ и
переключателем шкалы индикатора напыления, установите по
измерительному прибору необходимый уровень напыляемого слоя; 6)
включите кнопку НАПЫЛЕНИЕ, при этом загорится сигнальная лампочка
на блоке , а стрелка измерительного прибора возвратится на нулевое
показание; 7) нажать кнопку испарителя ИСП ; 8) рукояткой
автотрансформатора РЕГ. НАПРЯЖЕНИЯ , расположенной на
горизонтальном пульте управления, плавно увеличивать ток накала
испарителя до значения, обеспечивающего равномерное испарение
напыляемого материала ; 9) выключение испарителей производится
автоматически после достижения заданного уровня толщины напыляемой
пленки ; 10) выключение блока питания испарителей, а также всего
вакуумного поста ВУП 4 осуществляется в обратной
последовательности .
Задание 2. Рассчитать толщину полученной металлической плёнки на
ЭВМ по программе , прилагаемой к «Техническому описанию».
                                              6
высо ко ва куумно го           кла па на       и кла па на на пуска во здух а . Они
до лж ны б ыть в за кр ыто м по ло ж е ни и ; 3) на ж ми те кно пку Ф Н, а че р е з 2-3
ми нуты кно пку ДН и В В . П р и это м до лж ны за го р е ться со о тве тствую щ и е
си гна льные ла мпо чки , на х о дящ и е ся на д кно пка ми . Откр о йте ве нти ль
по да чи во ды к ди фна со су; 4) че р е з 30-40 ми н на ж ми те кно пку П В и
о тка ча йте р а б о чи й о б ъе м до 5·10-2- 1·10-2 мм р т.ст. И зме р е ни е да вле ни я
пр о и зво ди те с по мо щ ью и нди ка то р а ва куума , р а спо ло ж е нно го на пр а во м
пульте да тчи ка П М Т -4М , р а спо ло ж е нно го на па тр уб ке Ф Н, для че го : а )
на ж ми те кно пку П М Т -4М и уста но ви те то к на ка ла со гла сно па спо р ту
да тчи ка ; б ) на ж ми те кно пку Ф В . Опр е де ли те ва куум со гла сно
гр а дуи р о во чно й кр и во й да тчи ка и по ка за ни й и зме р и те льно го пр и б о р а ;.5)
П о сле до сти ж е ни я ука за нно го ва куума на ж ми те кно пку В В и о ткр о йте
высо ко ва куумный кла па н; 6) За ме р ьте высо ки й ва куум в р а б о че м о б ъёме
для че го : а ) на ж ми те кно пку П РОГР и выде р ж и те в это м р е ж и ме 10-15
ми н; б ) на ж ми те кно пку Э М И СС и уста но ви те стр е лку пр и б о р а на 5 мВ ; в)
на ж ми те кно пку НУ ЛЬ и уста но ви те нуль на и зме р и те льно м пр и б о р е ; г)
на ж ми те кно пку "10-4", е сли стр е лка и зме р и те льно го пр и б о р а по ка зыва е т
ме не е 1 мВ          да нно го ди а па зо на , на ж ми те кно пку "10-5" и т.д. П о сле
вклю че ни я пр и б о р а не о б х о ди мо пр о и зве сти сб о р ку устр о йства для
те р ми че ско го р а спыле ни я со гла сно р и с. 2 "Т е х ни че ско го о пи са ни я" и
пр о до лж а ть р а б о ту на пр и б о р е в сле дую щ е м по р ядке : 1) уста но ви ть
и спа р и те ль с р а спыляе мым ма те р и а ло м (по ука за ни ю пр е по да ва те ля) и
сто ли к о б р а зцо в; 2) о тка ча ть р а б о чи й о б ъём до высо ко го ва куума , 3)
уста но ви ть пе р е клю ча те ль и спа р и те ле й на го р и зо нта льно м пульте в
по ло ж е ни е , со о тве тствую щ е е и спа р и те лю , и з ко то р о го б уде тр а спыляться
ма те р и а л (на и спа р и те лях и пе р е клю ча те ле и ме ю тся со о тве тствую щ и е
гр а ви р о вки ); 4) У ста но ви ть р учко й У СТ .0 стр е лку и зме р и те льно го
пр и б о р а на нуле во е по ка за ни е пр и б о р а , мно ж и те ль ш ка лы пр и это м
до лж е н б ыть в по ло ж е ни и «Х 1»; 5) П о льзуясь р учко й У РОВ ЕНЬ и
пе р е клю ча те ле м ш ка лы и нди ка то р а             на пыле ни я, уста но ви те        по
и зме р и те льно му пр и б о р у не о б х о ди мый ур о ве нь на пыляе мо го сло я; 6)
вклю чи те кно пку НАП Ы ЛЕНИ Е, пр и это м за го р и тся си гна льна я ла мпо чка
на б ло ке , а стр е лка и зме р и те льно го пр и б о р а во звр а ти тся на нуле во е
по ка за ни е ; 7) на ж а ть кно пку и спа р и те ля И СП ; 8) р уко ятко й
а вто тр а нсфо р ма то р а     РЕГ.       НАП РЯ Ж ЕНИ Я ,            р а спо ло ж е нно й  на
го р и зо нта льно м пульте упр а вле ни я, пла вно уве ли чи ва ть то к на ка ла
и спа р и те ля до зна че ни я, о б е спе чи ва ю щ е го р а вно ме р но е и спа р е ни е
на пыляе мо го ма те р и а ла ; 9) выклю че ни е и спа р и те ле й пр о и зво ди тся
а вто ма ти че ски по сле до сти ж е ни я за да нно го ур о вня то лщ и ны на пыляе мо й
пле нки ; 10) выклю че ни е б ло ка пи та ни я и спа р и те ле й, а та кж е все го
ва куумно го        по ста В У П         –     4        о сущ е ствляе тся в о б р а тно й
по сле до ва те льно сти .

      Зад ание2. Ра ссчи та тьто лщ и ну по луче нно й ме та лли че ско й плёнки на
Э В М по пр о гр а мме , пр и ла га е мо й к «Т е х ни че ско му о пи са ни ю ».