Методические указания к лабораторному практикуму для студентов специализации "Физика металлов". Попова И.А - 8 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

8
по возможности максимально тяжелыми и химически не
воздействовать с образцом. Исходя из этих условий на практике
используют инертные газы, особенно аргон.
Рис.4
На рис.4 изображено устройство для ионного травления. Устройство
представляет собой разрядную камеру, состоящую из основания 7,
стеклянного цилиндра 3 с анодом 2 и штуцера 8. Столик 5, являющийся
катодом, охлаждается с помощью жидкого азота . Температура охлаждения
может регулироваться путем нагрева спирали 9 и измеряется термопарой
12. Термопара выполнена из пары медь-константан. Напуск газа в
разрядную камеру производится через систему напуска по трубке 10.
Сопрягаемые детали разрядной камеры притерты между собой и при
работе давление в ней будет поддерживаться более высокое, чем в рабочем
объеме . Поэтому газовый разряд происходит только в разрядной камере.
Для откачки газа из разрядной камеры перед ионным травлением
предусмотрен клапан 11, с помощью которого производится тонкая
регулировка давления в разрядной камере.
Порядок работы на приборе ВУП -4 при ионном травлении
следующий: 1) приставку для ионного травления собрать согласно рис. 5
"Технического описания"; 2) установить указанное устройство в гнездо 15
рабочего столика (см. рис.3 и рис.2 "Технического описания"); 3) откачать
рабочий объем при открытом клапане тонкой регулировки; 4) закрыть 
                                               8
по      во змо ж но сти     ма кси ма льно тяж е лыми               и     х и ми че ски  не
во зде йство ва ть с о б р а зцо м. И сх о дя и з эти х            усло ви й на пр а кти ке
и спо льзую ти не р тные га зы, о со б е нно а р го н.




                                                 Р ис.4
        На р и с.4 и зо б р а ж е но устр о йство для и о нно го тр а вле ни я. У стр о йство
пр е дста вляе т со б о й р а зр ядную ка ме р у, со сто ящ ую и з о сно ва ни я 7,
сте клянно го ци ли ндр а 3 с а но до м 2 и ш туце р а 8. Сто ли к 5, являю щ и йся
ка то до м, о х ла ж да е тся с по мо щ ью ж и дко го а зо та . Т е мпе р а тур а о х ла ж де ни я
мо ж е тр е гули р о ва ться путе м на гр е ва спи р а ли 9 и и зме р яе тся те р мо па р о й
12. Т е р мо па р а выпо лне на и з па р ы ме дь-ко нста нта н. На пуск га за в
р а зр ядную ка ме р у пр о и зво ди тся че р е з си сте му на пуска по тр уб ке 10.
        Со пр яга е мые де та ли р а зр ядно й ка ме р ы пр и те р ты ме ж ду со б о й и пр и
р а б о те да вле ни е в не й б уде тпо дде р ж и ва ться б о ле е высо ко е , че м в р а б о че м
о б ъе ме . П о это му га зо вый р а зр яд пр о и сх о ди тто лько в р а зр ядно й ка ме р е .
        Для о тка чки га за и з р а зр ядно й ка ме р ы пе р е д и о нным тр а вле ни е м
пр е дусмо тр е н кла па н 11, с по мо щ ью ко то р о го пр о и зво ди тся то нка я
р е гули р о вка да вле ни я в р а зр ядно й ка ме р е .
        П о р ядо к р а б о ты на пр и б о р е В У П -4 пр и и о нно м тр а вле ни и
сле дую щ и й: 1) пр и ста вку для и о нно го тр а вле ни я со б р а ть со гла сно р и с. 5
"Т е х ни че ско го о пи са ни я"; 2) уста но ви ть ука за нно е устр о йство в гне здо 15
р а б о че го сто ли ка (см. р и с.3 и р и с.2 "Т е х ни че ско го о пи са ни я"); 3) о тка ча ть
р а б о чи й о б ъе м пр и о ткр ыто м кла па не то нко й р е гули р о вки ; 4) за кр ыть

Страницы