ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Оглавление
ПРЕДИСЛОВИЕ ……………………………………………………………………. 4
1. ТОНКИЕ ПЛЕНКИ В РАДИОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЕ ………….. 5
1.1. Особенности методов получения тонких пленок ……………………….……… 5
1.2. Материалы для подложек тонких пленок ……………………………………… 6
2. ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЬ РАЗРАБОТКИ ГИБРИДНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ……………………………………………………… 8
2.1. Необходимые данные для проектирования и расчета топологической
структуры интегральных схем …………………………………………………... 9
2.2. Основные принципы проектирования топологической структуры
интегральных схем ………………………………………………………………..13
2.3. Определение степени интеграции принципиальной электрической
схемы устройства ………………………………………………………………… 17
2.4. Компоновка топологической структуры интегральных схем ………………… 18
3. ПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ
СХЕМ ……………………………………………………………………………….. 21
3.1. Пленочные интегральные резисторы …………………………………………… 21
3.2. Расчет тонкопленочных резисторов …………………………………………….. 24
3.3. Пленочные переходные контакты и межсоединения ………………………….. 31
4. ТОЧНЫЕ ПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ ……………………………………… 35
4.1. Расчет резисторов со ступенчатой подгонкой …………………………………. 36
4.2. Расчет резисторов с плавной подгонкой ……………………………………… .. 37
4.3. Оценка сопротивления и индуктивности пленочных проводников …………... 41
4.4. Частотные свойства пленочных резисторов ……………………………………. 42
5. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ …………………………………... 44
5.1. Расчет тонкопленочных конденсаторов без подстроечных секций …………... 48
5.2. Расчет гребенчатых конденсаторов …………………………………………….. 51
5.3. Расчет тонкопленочных конденсаторов повышенной точности ……………… 53
5.4. Добротность тонкопленочных конденсаторов ………………………….……… 55
6. ПЛЕНОЧНЫЕ ИНДУКТИВНОСТИ …………………………………………… 57
6.1. Исходные данные для расчета …………………………………………………… 57
6.2. Расчет пленочных катушек индуктивности …………………………………….. 59
7. ТЕПЛОВОЙ РАСЧЕТ МИКРОСХЕМ …………………………………………. 63
7.1. Оценка теплового режима микросхем …………………………………………... 63
7.2. Обеспечение теплового режима микросхем ……………………………………. 66
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ ………………………………………………………68
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ……………………………………………………………………… 70
ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ……………………………………………………...71
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ……………………………………………..73
