ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
УДК 621.38.049.77(075)
ББК 32.844.1 я73
Р13
Утверждено редакционно-издательским
советом УлГТУ в качестве учебного пособия
УДК 621.38.049.77 (075)
ББК 32.844.1я73
Рецензенты: дир ектор Ул ь я н о вс ког о филиала ИРЭ РАН канд. техн. наук,
профессор В. А. Сергеев;
канд . техн. наук,профессо р кафедр ы А и РЭО УлВАУ ГА
А. В. Е
ф
имо
в
Ро м а н о в а, М. П.
Р13 Проектирование и технология микросхем: учебное пособие/М. П. Рома-
нова. - Ульяновск: УлГТУ, 2005. - 83 с.
ISBN 5-89146-698-8
Пособие разработано в соответствии с программой дис циплины «Проектирование и
технология микросхем». В нем изложены вопросы принципов проектирования и тех-
нологии изготовления полупроводниковых инт егра льных микросхем. Предназначено
для самостоятельной работы студентов, обучающихся по напра влению 21.02.01.65.
Пособие подготовлено на ка ф е д ре «Проектирование и технология э ле ктронных
средств».
Печа т ает ся в авторской реда кции.
© М. П. Романова, 2005
ISBN 5
-
89 146
-
698
-
8
© О
ф
о
р
мление. УлГТУ
,
20 05
