Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 19 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев
17
3. Проведение поверки
3.1 Измерение толщины прозрачных покрытий на контрольных образцах с
помощью индикатора часового типа
В соответствии с инструкцией по эксплуатации индикатора часового типа с ценой
деления
мм
001
,
0
произвести измерение толщины лакового покрытия на контрольных
образцах, где лаковое покрытие нанесено только на часть поверхности, образуя тем самым
ступеньку с непокрытой частью поверхности образца. Толщину покрытия
0
h
определяют
как разность средних значений отсчетов по шкале индикатора при многократных касани-
ях штока индикатора поверхности лакового покрытия и поверхности образца без лакового
покрытия. Для уменьшения систематической ошибки измерений необходимо устанавли-
вать минимально возможное расстояние между точками касания на непокрытой поверх-
ности образца и на поверхности лакового покрытия. Определить погрешность измерения
0
h
.
3.2. Градуировка измерителя по контрольным образцам
В соответствии с этой операцией произвести измерение периода интерференцион-
ных полос, наблюдаемых на экране ВКУ при использовании образцов с известной толщи-
ной покрытия, измеренной в соответствии с п.3.1. Определить калибровочный коэффици-
ент
k
по формуле
00
Λ
=
hk
где
0
h толщина лакового покрытия образца (в мм);
0
Λ
период интерференционных
полос на экране ВКУ (в мм).
Установить на предметный столик контрольный образец с измеренной по п.3.1.
толщиной лакового покрытия таким образом, чтобы лазерный пучок фокусировался на ту
часть поверхности лакового покрытия, на которой определялась толщина с помощью ин-
дикатора часового типа. Получить на экране ВКУ отчетливую картину интерференцион-
ных полос. Определить период этих полос при помощи миллиметровой шкалы следую-
щим образом:
- выбрать на экране
0
m
отчетливых полос;
- по шкале определить расстояние
0
L ( в мм) между ними;
- рассчитать период
0
по формуле