Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 20 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

Интерферометрия рассеивающих сред
18
18
1
0
0
0
=Λ
m
L
Произвести перефокусировку лазерного пучка на контролируемую поверхность
N
раз с помощью регулировочного винта столика с вертикальным ходом. Определить
погрешность измерения величины периода полос
0
∆Λ
.
Произвести расчет калибровочного коэффициента
k
в трех контрольных образцах
со значением толщин лаковых покрытий, указанных в п.3.1.
Определить относительную погрешность измерения толщины лакового покрытия
h
ε
по формуле
%100
0
0
0
=
=ε
h
hh
h
h
u
h
где
0
h значение толщины лакового покрытия контрольного образца, измеренное с по-
мощью индикатора часового типа.
3.3. Действия по п.3.2. произвести для всех трех контрольных образцов с значе-
ниями толщин лаковых покрытий, указанных в п.3.1.
Лазерный измеритель толщины
2
ЛИИТ
считать выдержавшим испытания,
если значение относительной погрешности не превышает
15
±
для нижней границы
диапазона измерений;
5
±
для толщины лаковых покрытий
мкм
100
50
.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики: Пер. с англ./Под ред. Г. П. Мотулевич. - М.: Наука,
1970, 855 c.
2. Ландсберг Г. С. Оптика. - М.: Наука, 1976, 928 c.
3. Бреховских Л. М. Волны в слоистых средах. -М.: Изд.-во АН СССР, 1957, 502 c.
4. Франсон М. Оптика спеклов. Пер. с англ. - М.: Мир, 1980, 171c.
5. Джоунс Р., Уайкс К. Голографическая и спекл-интерферометрия. - М.: Мир, 1986, 328 c.
6. Рябухо В.П., Ульянов С.С., Миненкова И.Ф. Формирование квазирегулярной интерфе-
ренционной картины в спекл-модулированном лазерном пучке, отраженном от прозрач-
ного оптически неоднородного слоя. Журнал технической физики, 2002, Т.72, 4, С.72-
75.