Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 5 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев

Изучаемый в данной работе способ измерения толщины прозрачного покрытия ос-

нован на явлении интерференции лазерного излучения, отраженного от верхней и нижней

поверхностей исследуемого слоя. Источником измерительной информации служит интер-

ференционная картина в виде прямолинейных полос, период которых определяется тол-

щиной контролируемого слоя, его показателем преломления, длиной волны и углом паде-

ния зондирующего излучения на поверхность слоя.

ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ

Расчет интерференционной картины. Период интерференционных полос

Пусть лазерный пучок достаточно большой угловой апертуры фокусируется на по-

верхность металлической подложки, на которую нанесен тонкий слой прозрачного покры-

тия (рис.1). В результате отражения от верхней и нижней границ покрытия каждый луч

света приобретает свой фазовый сдвиг

(

)

∆

. В результате в отраженном излучении об-

разуется интерференционная картина полос равного наклона, которую можно наблюдать в

некоторой плоскости

, расположенной перпендикулярно оптической оси отраженного

пучка на расстоянии

от поверхности.

Рис.1. Принципиальная схема измерения толщины прозрачного покрытия:

1 - лазер; 2 - расширяющий микрообъектив; 3 - фокусирующий микробъектив; 4 - плоскопарал-

лельный слой; 5 - подложка; 6 - распределение интенсивности света в плоскости наблюдения;

7 - схематический вид наблюдаемой интерференционной картины.