Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 7 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев
5
Рис.2. Лучевая схема отражения света от прозрачного покрытия.
Рис.3. Зависимость нормированной интерференционной компоненты интенсивности
отраженного поля
(
)
(
)
(
)
(
)
[
]
(
)
(
)
(
)
[
]
2/1
2121
2/ ααααα=α IIIIII
H
от угла падения
α
лазерного
излучения
(
)
мкм63,0
=
λ
на поверхность прозрачного слоя толщины
мкмh 10
=
с показателем преломления
5,1
=
n
.
Угловой период интерференционных полос
α
Λ
можно найти как величину, обрат-
ную значению мгновенной" пространственной частоты
(
)
α
ν
, формально определяемой
как
α
α
ϕ
π
=αν
d
d )(
2
1
)( . Тогда с учетом соотношения (2) для углового периода полос по-
лучаем