Составители:
Рубрика:
Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев
7
[1-3]. Интерферограммы для облучающей волны в состоянии так называемой
−
p
и
−
s
поляризации (линейная поляризация с вектором напряженности электрического поля, со-
ответственно, вдоль и ортогонально плоскости падения волны) приведены на рис.5.
Рис.5. Двулучевые интерферограммы для различных состояний поляризации зондирующего излу-
чения: 1 –
−
s
поляризация, 2 –
−
p
поляризация: мкм63,0
=
λ
, толщина слоя
мкмh 25
=
, показатель преломления 5,1
=
n , эффективный показатель преломления подложки
83,112,0
1
in
+
=
.
Из рисунка видно, что величина модуляции интенсивности (контраст полос) ин-
терференционной картины оказывается больше для случая
−
s
поляризации. Для
−
p
по-
ляризации в области углов падения
α
близ характерного значения
0
0
57≈α можно от-
метить практически полное исчезновение полос (контраст полос равен нулю), объясняю-
щееся малым значением интенсивности отраженного от верхней границы слоя луча 1 (по
закону Брюстера полное исчезновение отраженного луча 1 наблюдается при угле
(
)
0
0
57≈=α narctg , где
5
,
1
=
n
– показатель преломления слоя). В области углов паде-
ния
0
α
>
α
с увеличением
α
заметен взаимный сдвиг экстремумов
−
p
и
−
s
интерфе-
рограмм на половину ширины интерференционной полосы, что объясняется сменой знака
коэффициента отражения первого луча при переходе через точку
0
α
=
α
, что эквива-
лентно изменению фазы волны на
рад
π
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 7
- 8
- 9
- 10
- 11
- …
- следующая ›
- последняя »
