Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 11 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

СГУ им. Чернышевского | Саратов

Составители: 

Рубрика: 

Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев
9
области, для которых
(
)
1
>
α
I
. На многолучевой интерферограмме рис.6
(
)
1
<
α
I
для
любых
α
. При этом, если учесть интенсивность преломленной в подложку волны
(
)
α
T
I ,
то согласно [3] придем к строго выполняющемуся равенству
(
)
(
)
1
=
α
+
α
T
II . Следова-
тельно, в ряде случаев, в частности, для прецизионного измерения контраста интерферо-
грамм тонких покрытий, учет многолучевого характера интерференции может оказаться
обязательным.
Спекл-модуляция
Если поверхность металлической подложки имеет микронеровности – шерохова-
тость, то это приводит к диффузному рассеянию света. При освещении такой поверхности
когерентным (лазерным) пучком света в отраженном излучении формируется так назы-
ваемая спекл-структура – картина хаотически расположенных светлых и темных пятен
[4,5]. Такие пятна обнаруживаются во всем объеме диффузно рассеянного поля. Возник-
новение спекл-структуры (от английского слова speckle – крапинка, пятнышко) обуслов-
лено высокой пространственной и временной когерентностью лазерного излучения и ин-
терференцией волн, рассеянных различными участками шероховатой поверхности. По
отношению к световому полю, в котором формируется спекл-структура (спеклы), принято
использовать термин "спекл-поля". Комплексная амплитуда спекл-поля является случай-
ной функцией координат. Это означает, что в отдельных пространственных элементах
поля - спеклах, амплитуда и фаза принимают случайные значения. Поэтому при интерфе-
ренции спекл-поля со световой волной, имеющей гладкий волновой фронт, помимо де-
терминированной разности фаз
(
)
α
ϕ
∆
необходимо рассматривать случайную состав-
ляющую разности фаз
(
)
α
δϕ
, обусловленную отражением от микронеоднородностей ме-
таллической подложки.
Вид результирующего интерференционного поля будет зависеть от соотношения
между пространственными распределениями случайной и детерминированной состав-
ляющими разности фаз интерферирующих волн. Если
(
)
α
ϕ
∆
– быстро меняющаяся
функция, такая, что в пределах отдельного спекла она меняется более чем на
π
2
радиан,
то в интерференционном поле, в пределах отдельных спеклов формируется квазирегуляр-
ное распределение интенсивности в виде косинусоидальных полос. Наблюдается интер-
ференционная картина, модулированная случайной амплитудно-фазовой структурой –

Страницы