Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 12 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Интерферометрия рассеивающих сред

спекл-структурой. Поскольку разность фаз

(

)

δϕ

принимает случайные значения в раз-

личных спеклах, то интерференционные полосы испытывают сдвиг на случайную долю их

периода при переходе от одного спекла к соседнему и ветвятся в областях локализации

точек с нулевой амплитудой.

Оптическая схема отражения сфокусированного Гауссового лазерного пучка от

прозрачного слоя с одной шероховатой поверхностью изображена на рис.7. В отраженном

поле интерферируют лазерный пучок с гладким волновым фронтом 5 и спекл-

модулированный пучок света 6, образующийся при отражении от шероховатой поверхно-

сти подложки 3.

Рис.7. Интерференция гладкого и спекл-модулированного полей при отражении

сфокусированного лазерного пучка от оптически неоднородного прозрачного слоя:

1 - освещающий пучок; 2 - прозрачный слой с одной шероховатой поверхностью;

3 - подложка; 4 - пучок света с гладким волновым фронтом; 5 - спекл-модулированный пучок.