Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 14 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

Интерферометрия рассеивающих сред
12
12
на металлическую подложку, размеры спеклов увеличиваются (формула (5)), что приводит
к постепенному появлению интерференционных полос в пределах отдельных спеклов
(рис.8,б,в). На рис.8,г приведена почти регулярная интерференционная картина, полосы
которой описывают незначительный изгиб при переходе от одного спекла к соседнему и
ветвятся в точках с нулевой амплитудой спекл-поля. Такая картина полос вполне прием-
лема для проведения измерения толщины покрытия.
Рис.8. Развитие картины регулярных интерференционных полос на фоне лазерной спекл-
структуры по мере совмещения перетяжки лазерного пучка с шероховатой поверхностью
подложки прозрачного слоя.