Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 15 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

Задание 1. Определить толщину тонкой стеклянной пластины с известным пока-

зателем преломления

Задание 2. Определить толщину прозрачного лакового покрытия с известным

показателем преломления

, нанесенного на металлическую подложку с шероховатой

поверхностью.

Экспериментальная установка

Принципиальная схема установки – лазерного интерференционного измерителя

толщины прозрачных покрытий

−

ЛИИТ

, изображена на рис.9.

Принцип действия измерителя основан на явлении интерференции лазерного излу-

чения, отраженного от верхней и нижней поверхностей прозрачного слоя вещества. Тол-

щина слоя определяется путем измерения периода интерференционных полос при извест-

ных остальных параметрах оптической схемы и показателе преломления слоя.

Рис.9. Схема лазерного интерференционного измерителя толщины прозрачных слоев

и покрытий 2

−

ЛИИТ :

1 - лазер; 2, 8 - лазерный пучок; 3, 4, 5 - микрообъективы; 6 – контролируемый объект; 7 - юстиро-

вочный предметный столик; 9 - ТВ камера; 10 - монитор; 11 - картина интерференционных

полос; 12 - миллиметровая линейка; 13 - основание установки.