Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 10 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Интерферометрия рассеивающих сред

Итак, вследствие большей величины контраста полос интерференционной картины,

для рассматриваемой методики измерений следует использовать

−

поляризацию зонди-

рующего излучения.

Многолучевая интерференция

Рассмотренная до сих пор схема формирования результирующего поля как следст-

вия интерференции двух лучей (1 и 2 рис.2), строго говоря, является неполной и отвечает

приближению так называемой двухлучевой интерференции. При высокой когерентности

освещающего поля, характерной для лазерных источников излучения, следует также рас-

сматривать луч 3, дважды отраженный от подложки, луч 4, трижды отраженный от под-

ложки и т.д. (пунктирные линии на рис.2). На рис.6 приведены интерферограммы, соот-

ветствующие двулучевому приближению (формула (1)) и многолучевой интерференции

(формула (5.18) на с.47 работы [3]). Из рисунка видно, что учет многолучевой интерфе-

ренции приводит, во первых, к уменьшению контраста полос интерференционной карти-

ны и, во вторых, к относительному сужению темных полос сравнительно со светлыми по-

лосами.

Рис.6. Влияние на интерферограмму эффекта многократного отражения лучей:

1 – двулучевое приближению (формула (1)); 2 – учет многолучевой интерференции (формула

(5,18) на c.47 работы [3]). Случай

−

поляризации зондирующего излучения; остальные парамет-

ры те же, что и на рис. 5.

Отметим принципиальную ограниченность двулучевого приближения, в общем

случае не согласующегося с законом сохранения энергии. Действительно, на двулучевых

интерферограммах рис.5 и 6 (нормированных на интенсивность облучающей волны) есть