Интерференционный метод измерения толщины прозрачных слоев и покрытий. Рябухо В.П. - 8 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

Интерферометрия рассеивающих сред
6
6
α
αλ
=
αν
=Λ
α
2sin
sin
)(
1
22
n
h
. (3)
Эта зависимость проиллюстрирована соответствующими графиками рис. 4.
Рис. 4. Зависимость углового периода интерференционных полос
α
Λ
от угла падения
α
лазер-
ного излучения
(
)
мкм63,0
=
λ
на поверхность прозрачного слоя с показателем преломления
5,1
=
n и толщиной h : 1 – мкмh 10
=
; 2 – мкмh 20
=
; 3 – мкмh 30
=
.
Поскольку интерференционная картина наблюдается на некотором расстоянии
z
от поверхности слоя, то пространственный период полос можно определить как
α
Λ
=
Λ
z . Таким образом, соотношение (3) можно записать в виде
α
α
Λ
λ
=
2
sin
22
nz
h
. (4)
Формула (4) является основной для расчета
h
по измеренным величинам
z
,
,
Λ
α
при известных
n
и
λ
.
Далее остановимся на анализе факторов, влияющих на вид результирующего рас-
пределения интенсивности и имеющих как принципиальную, так и практическую значи-
мость для рассматриваемой методики измерений.
Учет поляризации зондирующего облучения
Интенсивности интерферирующих волн
1
I ,
2
I , определяются формулами Френеля
и зависят от угла падения
α
; а также от состояния поляризации зондирующего изучения