Проектирование интегральных микросхем. Шелохвостов В.П - 56 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Окончание табл. 4.1.1
Материал резисторов (контактная
площадь)
Удельная поверхность
сопротивления ρ
s опт
, Ом/
Диапазон номинальных
значений, Ом
Допустимая мощность
рассеяния Р
0
, Вт/см2
Температурный коэффициент
сопротивления ТКR, α⋅10
–4
,
1/°С
Стабилизация за 1000 ч, %
ГОСТ8803–58 10 1…10 000 2,0 –2,25 –
(золото с подслойкой нихрома) 50 5…50 000 2,0 –2,25 –
Тантал ТВЧ
ТУ 95.311–75 10…100 50…100 000 3,0 –2,0 5,0
РЭТУ 1244–67
(Аl c подслойкой V) 20…100 100…10 000 3,0 –2,0 5,0
(Сu с подслойкой нихрома) 100 50…100 000 3,0 –2,0 5,0
(Тантал) 10 10…15 000 3,0 –2,0 5,0
Кермет К50
ЕТО.21.033ТУ 1000…300 1000…10 000 2,0 –5…+3 0,5
Кермет К-50С 5000 500…200 000 2,0 –4 0,5
ЕТО.021.013 ТУ
(золото с подслойкой нихрома
или хрома)
10 000 10
4
…10
5
2,0 –5 0,5
Кермет К-20
ЕТО.021.033ТУ
(золото с подслойкой нихрома
или хрома)
1000…3000 – 2,0 0,5 0,6
РС3001
ГОСТ22025–76
800…3000 – 5,0 1,0 0,5
ЕТО.021.019 ТУ 1000 100…50 000 2,0 0,2 –
(золото с подслойкой Сr,
нихрома)
2000 200…100 000 2,0 0,2 –
РС3710
ЕТО.021.034 ТУ
3000 1000 2,0 0,3 –
3. Проводится проверка правильности выбранного материала резистивной пленки с точки зрения точности
изготовления резисторов.
Полная относительная погрешность изготовления пленочного резистора
γ
R
= γ
kф
+ γ
ρs
+ γ
Rт
+ γ
Rст
+ γ
Rк
, (4.1.16)
где γ
kф
– погрешность коэффициента формы; γ
ρs
– погрешность воспроизведения величины γ
s
резистивной
пленки; γ
Rт
– температурная погрешность; γ
Rк
– погрешность переходных сопротивлений контактов; γ
Rст
–
погрешность, обусловленная старением пленки.
Погрешность коэффициентов формы γ
kф
зависит от погрешности воспроизведения геометрических размеров
резистора и определяется как
γ
kф
= ∆l / l + ∆b / b. (4.1.17)
Погрешность воспроизведения удельного поверхностного сопротивления γ
ρs
зависит от условий напыления и
материала резистивной пленки. В условиях серийного производства ее значение на превышает 5 %.
Температурная погрешность зависит от ТКС материала пленки
γ
Rт
= α
R
(T
max
– 20
o
C), (4.1.18)
где α
R
– температурный коэффициент сопротивления материала пленки,1/
о
С.

Страницы