Проектирование интегральных микросхем. Шелохвостов В.П - 58 стр.

UptoLike

l
расч
= bk
ф
. (4.1.24а)
За длину l резистора принимается ближайшее к l
расч
значение, кратное шагу координатной сетки, принятому
для чертежа топологии с учетом масштаба.
Полная длина резистора с учетом перекрытия контактных площадок определяется из выражения
l
полн
= l + 2е, (4.1.24б)
где еразмер перекрытия резистора и контактной площадки (е > 02 мм для "свободной" маски и е > 0,1 мм для
метода литографии).
Площадь, занимаемая резистором на площадке, определяется по формуле
S = l
полн
b. (4.1.25)
В случае резисторов с 0,1 < k
ф
< 1 сначала определяется длина, а затем ширина резистора.
Расчетное значение длины резистора l
расч
выбирается из условия
l
расч
> max {l
техн
, l
точн
, l
р
}, (4.1.26а)
где l
техн
минимальная длина резистора, определяемая разрешающей способностью выбранного технологического
метода формирования конфигурации (l
техн
= 0,2 мм для метода "свободной" маски и l
техн
= 0,1 мм для метода
литографии); l
точн
минимальная длина резистора, при которой обеспечивается заданная точность
l
точн
> (l + bk
ф
) / γ
kф
. (4.1.26б)
За длину l резистора принимается ближайшее к l
расч
значение, кратное шагу координатной сетки, принятому
для чертежа топологии.
Расчетная ширина резистора определяется по формуле
b
расч
= l / k
ф
. (4.1.27)
За ширину резистора принимается ближайшее к b
расч
значение, кратное шагу координатной сетки.
Полная длина резистора с учетом перекрытия контактных площадок и площадь резистора определяются
соответственно по формулам (4.1.24б) и (4.1.25).
Для проверки правильности расчета находятся действительная удельная мощность рассеивания и
погрешность резистора. Резистор спроектирован удовлетворительно, если:
1) удельная мощность рассеивания
0
1
0
/ PSPP <= ; (4.1.28)
2) погрешность коэффициента формы γ'
kф
не превышает допустимого значения γ
kф
:
γ'
kф
= l / l
пол
+ b / b γ
k ф.доп
; (4.1.29а)
3) суммарная погрешность γ
R'
не превышает допуска γ
R
:
γ
R
= γ
ρs
+ γ
kф
+ γ
Rт
+ γ
Rк
+ γ
Rст
γ
R
. (4.1.29б)
4.1.2.2. Конструктивный расчет тонкопленочных резисторов
сложной формы (k
ф
>10)
К резисторам сложной формы относятся конфигурации типа "меандр", приведенные на рис. 4.1.2, в. Расчет
их ведется также из условия минимальной занимаемой площади. Ширина определяется по приведенным выше
формулам (4.1.21) (4.1.23). Дальнейший расчет после определения ширины b резистора ведется в следующей
последовательности:
определяется длина средней линии меандра
l
ср
= b
k
ф
, (4.1.30)