Проектирование интегральных микросхем. Шелохвостов В.П - 59 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

при этом задается расстояние между резистивными полосками а; с учетом технологических ограничений (а
min
=
300 мкм для масочного метода и а
min
= 100 мкм в случае литографии), обычно а = b;
– определяется шаг одного звена меандра:
t = a + b; (4.1.31)
– определяется оптимальное число звеньев меандра n
опт
из условия получения минимальной занимаемой
площади, что выполняется в случае вписывания меандра в квадрат (L = B);
если отношение средней линии меандра к ширине резистивной полоски больше 10, то оптимальное число
звеньев меандра может вычисляться по приближенной формуле
LB
tl
n
/
/
ср
опт
=
; (4.1.32)
если L = B (меандр квадратной формы) и a = b выражение еще больше упрощается
2/
фопт
Kn = ; (4.1.33)
вычисленное значение n
опт
округляется до ближайшего целого;
– определяется длина меандра из выражения
L = n (a + b); (4.1.34)
– вычисляется ширина меандра
B = (l
ср
– an) / n, (4.1.35)
где n – оптимальное число звеньев, округленное до ближайшего це-
лого.
Расстояние a выбирается из конструктивно-технологических соображений. Например, при напылении
резисторов через свободную маску размер а
min
определяется минимально возможным расстоянием между
соседними щелями в маске. Для обеспечения требуемой жесткости маски оно должно удовлетворять условию
B
max
/ a < 10. (4.1.36)
Если это условие не выполняется, то необходимо изменить расстояние a и вновь вычислить n
опт
, L, B.
Приведенные расчетные соотношения не учитывают, что в резисторах типа "меандр" плотность тока в
изгибах неравномерна.
Это приводит к сокращению электрической длины пленочного резистора и уменьшению его сопротивления.
Для приближенной оценки сопротивления меандра можно воспользоваться формулой
R ≈ ρ
s
(l
ср
/ b) ≈ ρ
s
k
ф
. (4.1.37)
Для уточненного расчета конструкцию резистора типа "меандр" необходимо представить в виде
последовательно соединенных прямолинейных участков и изгибов. В этом случае сопротивление меандра можно
определить из выражения
R = R
и
m + l
п
ρ
s
/ b, (4.1.38)
где R
и
– сопротивление изгибов; m – число изгибов; l
п
– длина прямолинейных участков; n – число звеньев
меандра.
Для изгиба под прямым углом (рис. 4.1.2, б) R
и
= 2,55ρ
s
, при П-об-разном изгибе R
и
= 4ρ
s
. Отсюда длина
прямоугольного участка одного звена меандра выражается как
l
п
= (R – mR
и
) b / (ρ
s
n). (4.1.39)

Страницы