Проектирование интегральных микросхем. Шелохвостов В.П - 61 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

4.1.2. Химический состав высокоглиноземистой керамики
Химический состав, мас. %
Марка
керамики
Al
2
O
3
SlO
2
MnO Cr
2
O
3
CaO B
2
O
3
Na
2
O
MgO
22ХС
ГБ-7
ВГ-7
М-7
А-995
94,40
97,25
95,81
94,20
99,80
2,76
0,92
2,60
3,70
–
2,35
–
–
–
–
0,49
–
–
–
–
–
0,91
–
2,10
–
–
0,92
–
–
–
–
–
0,10
–
–
–
–
1,49
–
0,20
4.1.3. Керамические подложки из оксидов алюминия
зарубежных фирм
Характеристика Kyoto Ceramic (Япония) Desmsrquest (Франция)
Rosental
Technik (ФРГ)
Техническое название Киосера Киосера Киосера – – Рубалит
Содержание Al
2
O
3
, % 94,0 96,0 98,0 97,0 99,5 96,0
Цвет
Розо-
вый
Белый Белый Белый Белый Белый
Кроме керамических подложек, широко стали применяться металлические подложки со стекловидным
(эмалированные) покрытием. К их достоинствам следует отнести высокую теплопроводность, термостойкость,
механическую прочность. Они позволяют совмещать на одном основании толсто- и тонкопленочные микросхемы,
монтировать бескорпусные элементы и ИМС непосредственно на металлическое основание. Основные материалы
таких подложек приведены в табл. 4.1.4.
Технологический процесс изготовления металлоэмалевых подложек включает формирование металлической
заготовки (штамповка, гибка, пробивка отверстий), подготовку поверхности (травление, промывку, нанесение
адгезионного покрытия), нанесение эмали, сушку, обжиг. В качестве материала эмали используются
стеклопорошки с температурой вжигания 760…800 °С.
4.1.4. Характеристики материалов металлических подложек
Материал подложки
Коэффициент
теплопроводности K
т
,
10
2
, Вт/м⋅°С
Температурный
коэффициент линейного
расширения
ТКЛР, 10
–6
, °С
–1
Удельная теплоемкость,
кал/с⋅°С
Плотность, г/см
3
Удельное объемное
электрическое
сопротивление ρ, Ом⋅м
Алюминий
Латунь
Медь
Графит
Ковар
Молибден
Никель
2,14
0,85
3,20
1,40
0,15
1,34
0,58
23,0
18,5
17,0
5,4
6,0
4,9
13,0
0,90
0,38
0,39
1,67
0,50
0,25
0,44
2,7
8,4
8,9
1,8
8,0
10,2
8,9
2,8⋅10
–4
6,7⋅10
–4
1,7⋅10
–4
1⋅10
–1
49⋅10
–4
5,7⋅10
–4
7,8⋅10
–4
Сталь
(холодный прокат) 0,55 03,0 0,45 7,8
17⋅10
–4
Сталь
(нержавеющая Н316) 0,15 16,5 0,50 8,0
91⋅10
–4
Вольфрам
1,56 5,0 0,13 19,3
5,5⋅10
–4

Страницы