Проектирование интегральных микросхем. Шелохвостов В.П - 63 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

4.1.3. Золотосодержащие пасты и их растекаемость
Состав пасты, масс. %
Тип пасты
Порошок золота Стеклосвязка
Органическое
связующее
Растекаемость,
мкм
ПЗП-1 80,1 7,9 12,0 1…10
ПЗП-3 83.0 2,5 14,5 5…20
ПЗП-4 81,6 2,5 17,0 8…25
ПЗП-5 78,7 2,4 18,9 10…25
Паста ПЗП-1 предназначена для получения толстопленочных прецизионных проводниковых элементов
методом трафаретной печати на керамической подложке с температурой вжигания 850…950 °С. Пасты ПЗП-3,
ПЗП-4, ПЗП-5 могут использоваться для создания контактных площадок в углублениях керамических корпусов и
установки кристаллов кремния размером до 2,5 × 2,7 мм пайкой при 420 ± 10 °С в течение 9 с и с усилием
прижима до 80 г.
В последнее время стали распространяться пасты, не содержащие благородных металлов. К ним относятся
композиции на базе меди, алюминия и никеля, разрабатываемые рядом фирм. Некоторые сведения по медным
пастам приведены в табл. 4.1.4, что наглядно показывает, какое значение придается разработке таких материалов.
4.1.4. Характеристики толстопленочных проводников на основе медной пасты
Состав пасты Параметр проводника
Фирма
Медь
масс. %
Стекло
масс. %
Элементы
в состоянии стекл
Оптимальный режим
Du Pont – – –
Время подсушки 5…10 мин
при 110 °С.
Время вжигания 8…10 мин
при 900 °С.
Общий цикл вжигания 50 мин.
Среда вжигания – азот
1,3 25 100 15
Cermalloy 88,0 10 Ba, P, C, Pb, O
2
Температура подсушки
125…150 °С.
Время – 10…15 мин.
Температура вжигания 900 °С,
время – 5…6 мин. Среда – азот
2,0 25 95 20
Electro Oxide
(EO)
70,3 28
Ba, Si, Al, P, Na, C,
O
2
Подсушка – 125 °С.
Вжигание в азоте 850 °С – 10 мин
2,0 25 20 30
Thick Film
Sistem (TES)
78,0 21 Ba, Si, P, C, O
2
, Sb
Вжигание в азоте при 850…950 °С
2,8…3,2 25 10 10
Более подробные данные в литературе не приводятся; отмечается, что содержание медного порошка
составляет 65…98 %, для улучшения адгезии иногда проводится окисление до содержания оксида меди
1…5 масс. %, дисперсность – 1…10 мкм.
Имеются сведения о выпуске никелевых паст, например, фирмой Engelhard: пасты А-2884, А-2964 с
разрешающей способностью 250 мкм, поверхностным сопротивлением ρ
s
= 0,05…0,1 Ом/ и прочностью
сцепления 2,1…2,8 Н/м
2
.
Припойные пасты. Этим материалам придается сейчас большое значение, поскольку их применение
позволяет уменьшить трудоемкость монтажа активных компонентов ГИС (монтаж составляет до 50 %
трудоемкости изготовления ГИС). Наиболее известными фирмами, выпускающими припойные пасты, являются
Du Pont, EMKA (США), Hereus (ФРГ), в табл. 4.1.5 приведены некоторые данные паст фирмы Du Pont.

Страницы