Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 135 стр.

           Технологический маршрут изготовления МПП субтрактивным
     позитивным методом с металлорезистом олово-свинец (Процесс 2)
Операция 9    Комплектование слоев МПП для прессования
Операция 10 Финишная отмывка комплекта слоев
Операция 11 Прессование пакета МПП
Операция 12 Контроль спрессованной МПП
Операция 13 Снятие оксидного слоя
Операция 14 Сверление металлизируемых отверстий
Операция 15 Контроль качества и позиционной точности отверстий
Операция 16 Подготовка к металлизации
Операция 17 Химическая и предварительная электрохимическая металлизация
              всей поверхности и отверстий
Операция 18 Выравнивание микронеровностей поверхности после металлизации
Операция 2    Подготовка поверхности под СПФ
Операция 19 Контроль металлизации
Операция 3    Получение рисунка схемы слоев из СПФ (наслаивание,
(Фотошаблон) экспонирование, проявление)
Операция 4    Контроль и ретушь
Операция 20 Электрохимическое меднение
Операция 21 Электрохимическое осаждение сплава олово-свинец в окна СПФ
Операция 6    Удаление СПФ
Операция 22 Контроль, ретушь и подчистка по сплаву олово-свинец
Операция 23 Травление меди, незащищенной сплавом олово-свинец
Операция 24 Химическое удаление сплава олово-свинец
Операция 10 Отмывка МПП
Операция 25 Контроль МПП визуальный и размерный
Операция 26 Контроль МПП электрический
Операция 14 Сверление неметаллизируемых отверстий
Операция 27 Подготовка поверхности МПП под паяльную маску
Операция 28 Нанесение паяльной маски
(Фотошаблон)
Операция 29 Экспонирование паяльной маски
Операция 30 Проявление паяльной маски
Операция 31 Дубление паяльной маски и визуальный контроль
Операция 32 Термо-вакуумная обработка МПП
Операция 33 Флюсование
Операция 34 Горячее лужение монтажных площадок, незащищенных паяльной
              маской
Операция 10 Отмывка МПП
Операция 35 Маркировка
(Трафарет)
Операция 36 Сушка
Операция 37 Выходной визуальный контроль
Операция 38 Мехобработка по контуру
Операция 39 Выходной электрический контроль
Операция 40 Оформление и упаковка
                               ГОТОВЫЕ МПП

                                  135