Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 138 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

138
Типы фотошаблонов, изготавливаемые на фотоэмульсионной пленке,
для производства слоев ПП негативным методом.
№ слоя
ПП
Наименование слоя
ПП
Тип фотооригинала
Тип рабочего ФШ
1 Наружный верхний Прямой, позитивный
Зеркальный,
негативный
2 Внутренний Прямой, позитивный
Зеркальный,
негативный
*
*
-//- -//- -//-
15 Наружный нижний Зеркальный,
позитивный
Прямой, негативный
16 Резист-защита
нижнего наружного
слоя
Зеркальный,
негативный
Прямой, позитивный
Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства слоев ПП
негативным методом, с применением рабочих фотошаблонов на диазопленке.
№ слоя
ПП
ПП
Тип фотооригинала
Тип рабочего ФШ
1 Наружный верхний Прямой, негативный
Зеркальный,
негативный
2 Внутренний Прямой, негативный
Зеркальный,
негативный
*
*
-//- -//- -//-
15 Наружный нижний Зеркальный,
негативный
Прямой, негативный
16 Резист-защита
нижнего наружного
слоя
Зеркальный,
позитивный
Прямой, позитивный
Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства слоев ПП
позитивным способом.
№ слоя
ПП
ПП
Тип фотооригинала
Тип рабочего ФШ
1 Наружный верхний Прямой, негативный
Зеркальный,
позитивный
2 Внутренний Прямой, негативный
Зеркальный,
позитивный
*
*
-//- -//- -//-
15 Наружный нижний Зеркальный,
негативный
Прямой, позитивный
16 Резист-защита
нижнего наружного
слоя
Зеркальный,
негативный
Прямой, позитивный
        Типы фотошаблонов, изготавливаемые на фотоэмульсионной пленке,
              для производства слоев ПП негативным методом.
      № слоя Наименование слоя Тип фотооригинала Тип рабочего ФШ
       ПП            ПП
  1           Наружный верхний Прямой, позитивный Зеркальный,
                                                  негативный
  2           Внутренний       Прямой, позитивный Зеркальный,
                                                  негативный
  *                   -//-             -//-               -//-
  *
  15          Наружный нижний  Зеркальный,        Прямой, негативный
                               позитивный
   16       Резист-защита      Зеркальный,        Прямой, позитивный
            нижнего наружного негативный
            слоя
        Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства слоев ПП
негативным методом, с применением рабочих фотошаблонов на диазопленке.
    № слоя Наименование слоя Тип фотооригинала Тип рабочего ФШ
      ПП            ПП
  1         Наружный верхний Прямой, негативный Зеркальный,
                                                  негативный
  2         Внутренний         Прямой, негативный Зеркальный,
                                                  негативный
  *                  -//-              -//-               -//-
  *
  15        Наружный нижний Зеркальный,           Прямой, негативный
                               негативный
  16        Резист-защита      Зеркальный,        Прямой, позитивный
            нижнего наружного позитивный
            слоя
        Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства слоев ПП
                          позитивным способом.
    № слоя Наименование слоя Тип фотооригинала Тип рабочего ФШ
      ПП             ПП
  1           Наружный верхний Прямой, негативный Зеркальный,
                                                  позитивный
  2           Внутренний       Прямой, негативный Зеркальный,
                                                  позитивный
  *                   -//-             -//-               -//-
  *
  15          Наружный нижний   Зеркальный,        Прямой, позитивный
                                негативный
  16          Резист-защита     Зеркальный,        Прямой, позитивный
              нижнего наружного негативный
              слоя


                                   138

Страницы