ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
110
Скорость диффузии 38
− испарения молекул 73
− окисления кремния 28
− роста эпитаксиального слоя 21
− травления 66, 70
Слой скрытый 8
Солидус 101
Сольвус 101
Структура КНД 17
− КНС 17, 24
− МДП-транзистора 6
− эпитаксиально-планарного
транзистора 9
Теория Линдхарда-Шарфа-Шиотта 41
Технология гибридная 7, 89
− полупроводниковая 6
Тормозная способность 42
− электронная 42
− ядерная 42
Травители полирующие 66
− селективные 67
Травление 64
− жидкостное 64
− ионное 68
− ионно-химическое 69
− плазмо-химическое 68
Транзистор биполярный 6
− полевой 98
− с диодом Шоттки 97
− эпитакисиально-планарный 9
Трехэлектродная система 88
Уравнение Герца-Кнудсена 73
− Ленгмюра 74
− Клаузиуса-Клапейрона 74
Фотолитография 51
Фоторезист 51
− негативный 54
− позитивный 54
Фоторезиста задубливание 53
− кислотостойкость 55
− нанесение на подложку 52
− проявление 53
− разрешающая способность 55
− светочувствительность 55
− сушка 52
− экспонирование 52
Фотохимические реакции 54
Хемоэпитаксия 16
Химическое осаждение SiO
2
30
Эвтектика 101
Электромиграция ионов 98
Электронолитография 58
− проекционная 60
− сканирующая 59
Электроэпитаксия 20
Энергия активации диффузии 32
− химической реакции 67
Эпитаксия 16
− газофазная 20
− жидкофазная 20
− молекулярно-лучевая 22
− парофазная 18
− твердофазная 20
Эффект каналирования 44
Явление сегрегации примесей 13
