ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
111
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Аваев, Н. А. Основы микроэлектроники / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов,
В. Т. Фролкин. − М.:Радио и связь, 1991. − 288 с.
2. Броудай, И. Физические основы микротехнологии / И. Броудай,
Дж. Мерей. − М.: Мир, 1985. − 496 с.
3. Готра, З. Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник /
З. Ю. Готра. − М.:Радио и связь, 1991. − 528 с.
4. Ефимов, И. Е. Микроэлектроника: физические и технологические ос-
новы, надежность / И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь. − М.: Высш.
шк., 1986. − 463 с.
5. Иванов − Есипович, Н. К. Физико-химические основы производства
радиоэлектронной аппаратуры / Н. К. Иванов − Есипович. − М.: Высш. шк.,
1979. − 328 с.
6. Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых прибо-
ров и интегральных микросхем / А. И. Курносов, В. В. Юдин. − М.: Высш. шк.,
1986. − 368 с.
7. Парфенов, О. Д. Технология микросхем / О. Д. Парфенов. − М.: Высш.
шк., 1986. − 320 с.
8. Пичугин, И. Г. Технология полупроводниковых приборов / И. Г. Пичу-
гин, Ю. М. Таиров . − М.: Высш. шк., 1984. − 288 с.
9. Сугано, Т. Введение в микроэлектронику / Т. Сугано, Т. Икома,
Е. Такэиси. − М.: Мир, 1988. − 320 с.
10. Таруи, Я. Основы технологии СБИС / Я. Таруи. − М.:Радио и связь,
1985.− 480 с.
11. Тилл, У. Интегральные схемы: материалы, приборы, изготовление /
У. Тилл. Дж. Лаксон. − М.: Мир, 1985. − 501 с.
12. Черняев, В. Н. Технология производства интегральных микросхем и
микропроцессоров / В. Н. Черняев. − М.: Радио и связь, 1987. – 463 с.
13. Черняев, В. Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА /
В. Н. Черняев. − М.: Высш. шк., 1987. − 376 с.
