ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
2
УДК 621.38 (075)
ББК 32.965 я 7
С 50
Рецензенты:
Ульяновское отделение Института радиотехники и электроники РАН;
профессор кафедры «Аэронавигация и радиоэлектронное оборудование» Улья-
новского высшего авиационного училища гражданской авиации, канд. техн. на-
ук, А. В. Ефимов
Утверждено редакционно-издательским советом университета
в качестве учебного пособия
Смирнов, В. И.
С 50 Физико-химические основы технологии электронных средств: учебное
пособие / В. И. Смирнов. − Ульяновск: УлГТУ, 2005.− 112 с.
ISBN 5-89146-600-0
Рассмотрены основные технологические операции производства электрон-
ных средств с точки зрения физических явлений, сопутствующих или лежащих
в основе той или иной операции. Основное внимание уделено технологии по-
лупроводниковых микросхем, которые реализуются в приповерхностном слое
полупроводниковой пластины. Рассмотрены также основные операции изго-
товления гибридных интегральных микросхем.
Пособие предназначено для студентов специальности 21020165, изучающих
вопросы технологии электронных средств.
УДК 621.38 (075)
ББК 32.965 я 7
В. И. Смирнов, 2005
ISBN 5-89146-600-0
Оформление. УлГТУ, 2005
