Физико-химические основы технологии электронных средств. Смирнов В.И. - 64 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

64
электромагнитного излучения рентгеновского диапазона. Кроме этого, они мо-
гут быть использованы для изготовления элементов приборов наноэлектрони-
ки. Главное ограничение метода – возможность получения структур только
простой геометрической формы.
3.9. Травление
Травление представляет собой процесс удаления поверхностного слоя
объекта немеханическим способом. Данная технологическая операция приме-
няется для получения максимально ровной бездефектной поверхности полу-
проводниковых пластин (химической полировки); удаления с поверхности пла-
стин различных пленок (например, слоя SiO
2
или металлизации); локального
удаления исходного материала с отдельных участков поверхности подложки;
выявления структурных дефектов на поверхности монокристаллических пла-
стин; формирования на поверхности подложек маскирующих покрытий.
При всем многообразии методов травления их можно разделить на две
большие группы: жидкостное (химическое) травление и сухое (ионно-
плазменное) травление. В основе жидкостного травления обычно лежит хими-
ческая реакция жидкого травителя и твердого тела, в результате которой обра-
зуется растворимое соединение. Сухое травление проводят в специальных газо-
разрядных камерах, в которых подложка обрабатывается ионами или химиче-
ски активными частицами плазмы.
Жидкостные (химические) методы травления
По характеру взаимодействия растворителя с веществом химическое
травление (растворение) бывает трех типов: молекулярное, ионное
и реактивное.
Молекулярное
растворение
. Отличительной чертой этого типа растворе-
ния является полная идентичность химической формулы вещества в
исходном
состоянии и в растворе. После удаления (например, испарения) растворителя
растворенное вещество может быть получено в химически неизменном виде,
хотя с ним могут произойти морфологические изменения. Примером такого ти-
па реакций может служить растворение сахара в воде, полистирола в бензоле и
так далее. Частным случаем молекулярного растворения является образование
коллоидных растворов, когда вещество в
растворе находится не в виде отдель-
ных молекул, а группируется в крупные полимолекулярные образования, так
называемые коллоидные частицы.
Ионное
растворение
. В этом случае исходное состояние вещества
и
состояние в растворе не идентичны. В растворе происходит разделение ион-
ного кристалла на катионы и анионы, которые окружены сольватационными
оболочками (в водных растворах образованными полярными молекулами во-
ды), которые обеспечивают устойчивость таких растворов. Тем не менее, как и
в случае молекулярных растворов, после удаления растворителя растворенное

Страницы